脂润滑复合分子泵研制

成果名称

FF-63/70、FF-100/300脂润滑复合分子泵

单位名称

北京中科科仪股份有限公司

联系人

朱国精

联系邮箱

zhugj@kyky.com.cn

成果成熟度

□正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产

合作方式

□技术转让 □技术入股 □合作开发   √其他

成果简介：      

     本项目产品为基于分析仪器行业应用的小型脂润滑复合分子泵，包括FF-63/70、FF-100/300两个型号。所涉及的关键技术主要有：
     1）涡轮级叶片、牵引级圆盘型螺旋槽气体输运特性分析；
     2）整体式涡轮转子的强度校核及高速铣削加工工艺；
     3）高速转子轴系动力学特性分析及减振结构设计；
     4）高速直流电机及驱动控制系统设计；
     其中，整体式涡轮转子高速铣削加工、高速直流电机及驱动技术达到国际一流水平。
     项目产品主要应用于各类质谱分析仪器，为仪器正常工作提供必要的高真空环境，产品主要创新点如下：
     1）分子泵体积小、转速高，对氦气、氢气等小分子气体有较高的压缩比；
     2）采用整体复合型涡轮转子，并通过HSM600高速铣加工中心规模化生产，提高产品一致性和可靠性，同时较好的控制成本；
     3）对高速轴系设计轴向、径向相结合的复合减振方案，保证高速转子稳定运行。
     产品主要性能指标如下
     FF-63/70     FF-100/300
     抽速 > 60 L/s > 250 L/s
     极限压力   < 5E-5 Pa  < 3E-5 Pa
     转速 ≥    50700 转/分钟 ≥ 42000 转/分钟
     振动值  < 0.1um < 0.1um

应用前景：
     项目产品为脂润滑复合型涡轮分子泵，主要为各类仪器和真空平台提供所需洁净的高真空环境，产品主要应用于质谱分析、表面科学、激光、薄膜沉积、实验室科研等领域。
     据统计，2010年我国进口分子泵8000多台，其中40%用于各类分析仪器，并以每年20%的速度增长，而该领域分子泵长期被国外厂家垄断。本项目产品目前已实现销售27台，其中部分应用实现了对国外产品的替换。

知识产权及项目获奖情况：
     本项目产品完全自主研发，拥有完全自主知识产权。
     暂无申请专利。