日本电子推出分辨率达63pm的透射电镜JEM-ARM300F

　　日前，JEOL宣布推出新型原子分辨率电镜JEM-ARM300F。

　　透射电镜一直以来是材料研发当中进行微观结构分析的重要工具。然而，随着纳米级或原子水平的先进材料的研发，针对这类材料的合成研究越来越需要高分辨率的成像和分析技术。

　　为了满足这种需求，日本电子一直聚焦于推出带有球差校正器的透射电镜技术来超越目前的分辨率极限。在2009年，日本电子推出了JEM-ARM200F，200kV的透射电镜，采用了球差校正技术，分辨率达到了80pm(STEM成像)，这是首台达到如此高的分辨率的商品化电镜。为达到原子分辨率水平，JEM-ARM200F整合各种功能来确保高度稳定的性能。目前，已有超过100台ARM200F安装在世界各地，许多研究人员对于电镜原子水平的成像和分析非常熟悉。

　　同时，随着像差校正的广泛应用，用户对于透射电镜又涌现出各种各样新的需求，除了高分辨率，还有高分析灵敏度、原位分析、灵活的加速电压控制，和像差校正的易操作性。

　　因而，JEOL研发了JEM-ARM300F，可以说是JEM-ARM200F的升级版，300kV的原子分辨率透射电镜，采用日本电子自己的像差校正技术。JEM-ARM300F的又被称作“GRAND ARM”，分辨率可达63pm(STEM分辨率)。GRAND ARM可以根据用户的需求用于超高分辨率成像，或高灵敏度的分析应用，以及原位分析。

　　该仪器主要的目标用户是研究机构或半导体制造商。（编译：秦丽娟）