EscaLab Xi+ X射线光电子能谱仪
最先进的成像探测器设计,用于定量XPI成像:


电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计,可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成像的需求。空间连续的电阻阳极探测器创新技术,一方面使得XPI成像分辨率达1um,另一方面使得XPI成像得到数据无探测器背底特征,无需背底校正,直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果。


可选配的EDS探测器,实现体相分析技术和表面分析技术的结合:
新设计Xi+系统可选配EDS探测器与俄歇电子枪结合,可实现样品纳米尺度的体相微区元素成分分析,EDS可探测微米深度的元素组成,可以用于材料深度剖析前的元素组成预判。体相敏感的EDS技术和XPS表面分析技术的结合可更直观地用于研究合金等的表面偏析行为。


标配的反射电子能量损失谱REELS分析技术,用于弥补UPS能带分析和XPS元素分析:
REELS可以探测材料的能级和带隙结果,并可用于材料中H元素含量的定量。与UPS技术结合可了解完整的价带导带信息,并弥补XPS、AES等技术不能检测H元素含量的缺陷


发展的系列基于Xi+的成熟准原位样品处理、制备、反应系统: 
基于Xi+,设计的一系列成熟的ALD、MBE样品制备系统,高温高压催化还原反应系统和样品退火系统,满足不同的科研项目需求。