半球形能量分析器－固定减速比模式

2015-06-01 10:42

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资料摘要：

作为通用的能量分析器，半球形能量分析器（SCA/CHA）见图1，既可以用于光电子能谱仪（XPS），也可以用于俄歇电子能谱仪（AES）。考虑到俄歇电子发射效率低，为了将俄歇电子从背景信号中分离出来，提高俄歇电子检测灵敏度，SCA/CHA用于俄歇电子能谱仪时，首要的是提高俄歇电子传输效率，而不是提高谱仪的能量分辨率。本文将着重介绍SCA/CHA在俄歇电子分析中的应用。

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