核心参数
仪器种类: 落地式/传统大型
电子枪种类: 热场发射
产地类别: 国产
二次电子图象分辨率: 0.9nm@30Kv; 1nm@15Kv;3nm@1Kv
放大倍数: 2X-3000000X
加速电压: 0.2~30Kv
背散射电子图像分辨率: 2.5nm@30Kv
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