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蔡司 Crossbeam 系列 FIB-SEM 双束电子显微镜
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蔡司双束电镜(FIB-SEM)

蔡司Crossbeam 350/Crossbeam 550

进口双束电镜(FIB-SEM)

产品介绍
简介
蔡司 Crossbeam 系列将场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)的卓越成像性能与新一代聚焦离子束(FIB)的优异加工能力相结合。该仪器专为高通量 3D 分析和样品制备设计,适用于切割、成像及三维重构。其核心优势在于 Gemini 电子光学系统提供的无磁泄露高分辨率成像,以及 Ion-sculptor FIB 镜筒在低电压下减少样品损伤的加工能力。支持从半自动到全自动无人值守的 TEM 薄片制备,并可选配 ToF-SIMS 进行高灵敏度表面成分分析,是材料科学、生命科学及半导体失效分析的理想工具。

其它参数

SEM 分辨率 (1 kV, Tandem decel):1.2 nm (Crossbeam 350); 1.1 nm (Crossbeam 550)
SEM 分辨率 (15 kV):0.7 nm (Crossbeam 350); 0.6 nm (Crossbeam 550)
FIB 分辨率 (30 kV):3
离子束流范围:1 pA - 100
电子束流范围:5 pA - 100 (350); 10 pA - 100 (550)
ToF-SIMS 横向分辨率:< 35
ToF-SIMS 纵向分辨率:< 20
ToF-SIMS 探测极限:< 4.2
飞秒激光波长:515
飞秒激光脉冲持续时间:< 350
样品台 X/Y 行程:100 mm (标准); 153/202 mm (550 可选)
样品台倾斜角度 (T):-4° 至 70° (350); -15° 至 70° (550)

蔡司 Crossbeam 系列 FIB-SEM 双束电子显微镜

蔡司 Crossbeam 系列是将场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)的强大成像分析与聚焦离子束(FIB)精密加工能力深度融合的双束系统。该仪器基于Gemini 电子光学系统和Ion-sculptor FIB 镜筒技术,旨在提供无损的高分辨率 3D 表征及高效的样品制备解决方案。其核心功能涵盖微纳尺度的截面切割、三维断层扫描成像以及高质量的 TEM(透射电子显微镜)薄片制备,能够显著降低样品非晶化损伤并提升实验通量。

Gemini 电子光学系统确保了在大视野范围内无磁泄露干扰,即使对磁性样品或倾斜样品也能获得无畸变的高分辨率图像。系统支持Tandem decel(串联减速)模式,通过样品台偏压进一步降低着陆电压,从而在极低电压下实现优异的表面形貌和成分衬度成像。配合Inlens EsB(能量选择背散射)探测器,可获取深度小于 3 nm 的纯材料成分信息,实现形貌与成分的同步解析。

Ion-sculptor FIB 镜筒引入了全新的加工策略,束流范围横跨五个数量级(1 pA 至 100 nA)。在低束流下可实现小于 3 nm 的 FIB 分辨率,而在高束流(高达 100 nA)下能快速移除材料,大幅缩短大体积样品的切割时间。新增的Fastmill 扫描策略优化了角度相关的溅射效应,相比传统线切割速率提升 40%。对于深埋结构分析,系统可选配飞秒激光器(LaserFIB),在极小热影响区下快速打开毫米级深度的感兴趣区域。

在样品制备方面,Crossbeam 提供从引导式半自动到Samplefab 全自动无人值守的 TEM 薄片制备流程。利用SmartEPD 软件模块可定量监控减薄终点,结合专利的X²样品夹技术,有效防止多组分材料卷曲,制备出厚度均匀且小于 10 nm 的高质量薄片。此外,集成ToF-SIMS(飞行时间二次离子质谱仪)选件后,系统具备 ppm 级灵敏度的同位素及轻元素(如锂)分析能力,横向分辨率优于 35 nm。

适用场景

  • 半导体器件失效分析与电路编辑实验室

  • 新材料微观结构与三维重构研究中心

  • 生命科学与生物医学超微结构成像平台

  • 电池材料与能源器件截面分析实验室

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蔡司 Crossbeam 系列 FIB-SEM 双束电子显微镜多少钱一台?

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售后服务
产品货期: 60天
整机质保期: 12月
培训服务: 安装调试现场免费培训;额外提供免费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 2小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 48天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 45天
核心零部支持时间: 5年
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 技术参数;专用工具;故障代码;维修手册
无理由退换货: 不支持
其他: 本产品提供安装、调试及操作培训服务1次;质保期内提供非人为故障技术支持与维修服务,电话支持、远程指导及必要现场服务可根据实际情况安排;质保期后可继续提供有偿维修、配件供应、应用支持及维保服务。售后联系电话:18620616320,或 020-29003376 / 025-84933730。
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工商信息

企业名称

江苏然艾科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91320115MAEK0MNJ25

成立日期

2025-05-06

注册资本

1000万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;实验分析仪器销售;仪器仪表销售;机械电气设备销售;机械设备租赁;机械设备销售;光通信设备销售;通讯设备销售;智能输配电及控制设备销售;机械零件、零部件加工;机械零件、零部件销售;家用电器销售;办公设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;仪器仪表修理;货物进出口;技术进出口;会议及展览服务;摄像及视频制作服务;礼品花卉销售;企业管理咨询;商务代理代办服务;咨询策划服务;法律咨询(不含依法须律师事务所执业许可的业务);知识产权服务(专利代理服务除外);信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);信息技术咨询服务;电子产品销售;信息系统集成服务;软件开发;软件销售;人工智能基础资源与技术平台;工程和技术研究和试验发展;智能控制系统集成;园区管理服务;第一类医疗器械销售;第一类医疗器械租赁;第二类医疗器械销售;第二类医疗器械租赁;对外承包工程;工程管理服务(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

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蔡司 Crossbeam 系列 FIB-SEM 双束电子显微镜Crossbeam 350/Crossbeam 550由江苏然艾科技有限公司提供,产地为德国,属于进口双束电镜(FIB-SEM),符合多项国家和国际分析标准, 蔡司 Crossbeam 系列 FIB-SEM 双束电子显微镜Crossbeam 350/Crossbeam 550凭借其创新性与实用性,在双束电镜(FIB-SEM)用户中获得广泛关注。

据仪器信息网显示:该仪器已通过“仪器优选”认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异。

根据然艾科技官方产品资料显示:蔡司 Crossbeam 系列 FIB-SEM 双束电子显微镜Crossbeam 350/Crossbeam 550的价格为面议,具体型号是Crossbeam 350/Crossbeam 550,品牌为蔡司。

客户服务热线:400-616-7676,3199(售前/售后支持)

官方链接:https://www.instrument.com.cn/netshow/SH121087/C703694.htm

来源:江苏然艾科技有限公司

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