德国SURAGUS非接触电阻（方阻）及膜厚测量仪2525

EddyCus® TF 系列 (thin-film) 是非接触式的实时测量薄膜电阻的检测设备，它利用非接触式涡旋电流检测技术。该系统也可用于表征薄膜，玻璃内部的导电层，晶圆以及金属箔片。此产品应用如下:

• 薄膜电阻测量: 0,1 mOhm/sq to 3.000 Ohm/sq

• 金属膜厚度测量: 5 nm to 500 microns

• 电导率扫描绘图: 1% IACS (0,6 MS/m)

URAGUS 2525 方阻测试仪  薄膜电阻和厚度测试仪

TF lab系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的薄膜面电阻（方块电阻）及薄膜厚度测量的仪器。

特点

非接触成像

高解析度成像（25 至1,000,000 点）

缺陷成像

封装层的地图

参数

薄膜电阻（欧姆/平方）

金属层厚度（nm、μm）

金属基板厚度（nm、μm）

各向异性

缺陷

完整性评定

应用

建筑玻璃（LowE）

触摸屏和平板显示器

OLED和LED应用

智能玻璃的应用

透明防静电铝箔

光伏

半导体

除冰和加热应用

电池和燃料电池

包装材料

材料

金属薄膜和栅格

导电氧化物

纳米线膜

石墨烯、CNT（碳纳米管）、石墨

打印薄膜

导电聚合物（PEDOT:PSS）

其他导电薄膜及材料

规格参数

测量技术：非接触式涡流传感器

基板：例如：薄膜、玻璃、晶圆，等等

最大扫描面积：10 inch / 254 x 254 mm（根据要求可以更大）

边缘效应修正/排除：对于标准尺寸，排除2 mm的边缘

最大样品厚度/传感器间隙：2 / 5 / 10 / 25 mm（由最厚的样本确定）

薄膜电阻的范围：

低       0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度

标准    1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度

高       10 - 10,000 Ohm / sq; 4 至 8 % 精度

金属膜的厚度测量（例如：铝、铜）：2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)

扫描间距：1 / 2 / 5 / 10 mm （根据要求的其它尺寸）

每单位时间内测量点（二次形）：

5分钟内10,000个测量点

30分钟内1,000,000 个测量点

扫描时间：

4 inch / 100 x 100 mm，在0.5至5分钟内（1-10mm 间距）

8 inch / 200 x 200 mm，在1.5至15分钟内（1-10mm 间距）

装置尺寸（宽/厚/深）：549 x 236 x 786(836) mm  /  23.6 x 9.05 x 31.5 inch

重量： 27 kg

可用特色：

薄膜电阻成像

各向异性电阻传感器