科众精密-半导体晶圆为什么要测接触角，晶圆疏水性测量

水滴角接触角测量仪是一种用于测量液滴与固体表面接触角的仪器，可以用于研究半导体晶圆的表面润湿性能。接触角是液滴与固体表面接触时形成的角度，该角度反映了晶圆表面的亲水性或疏水性，以及液体在固体上的润湿性，包括润湿速度的分析。

通过晶圆水滴角仪来测量半导体晶圆，常用于实际的操作过程中：

我们以XX晶圆客户为例子（为保护客户隐私，我司不能公布实际客户的公司名称）：首先，客户出厂半导体晶圆样品。确保表面是干净的，表面无尘和无污垢。

液滴准备，一般以纯净水，蒸馏水为宜，液滴是纯净的，没有杂质。水通常用于测量表面的亲水性，而其他液体可以用于研究疏水性表面。

水滴角在滴液过程中，一般以2微升-5微升液滴为宜，且通过上升样品平台来接液，液滴不会过度扩散或过于局部，也不因重力影响而变形。

接触角的相机拍摄液滴与样品表面的图像。水滴角接触角测量仪的实际 拟合过程，确保清晰可见液滴的形状。

分析软件或工具测量液滴与固体表面的接触角。这个角度表示了液滴对固体表面的润湿性。根据接触角的大小，你可以了解样品表面的亲水性或疏水性，以及液滴在表面上的润湿性质。同时，还可以通过动态的拟合方法，量化水滴角的变化。

晶圆样品可取不同的点多次测量以获得准确的接触角值。半导体晶圆的接触角测量是为了确保在制备半导体器件时，液体或气体与晶圆表面的接触能够被精确控制和理解。接触角是一个描述液体或气体与固体表面之间相互作用的物理性质的重要参数，通常用来评估液体在固体表面上的润湿性。

在半导体制造中，接触角测量对润湿性能，半导体晶圆表面的工艺等有着重要的影响：

润湿性是指液体是否能够均匀分布在晶圆表面，或者是以小滴的形式存在。在半导体制造中，润湿性的控制对于化学气相沉积、溅射、湿法蚀刻等工艺步骤非常重要。

在印刷和涂覆工艺中，控制接触角可以确保液体油墨或涂料均匀分布在晶圆表面，从而保证制备的半导体器件的性能和质量。

接触角测量也可以用于评估表面处理工艺的效果。通过改变表面的润湿性，从而影响半导体器件的性能。

在半导体制造中，确保每个晶圆的表面质量一致对于保证制造过程的可重复性和器件性能至关重要。接触角测量可以用来验证晶圆表面的一致性，从而提高产品的质量。

接触角测量在半导体制造中是一个重要的工具，用于控制和优化各种工艺步骤，以确保半导体器件的性能和质量。同时，接触角在量化数据方面，比起表面张力和达因笔，都更为准备和有效。