Xiton Photonics深紫外窄线宽纳秒脉冲固体激光器

  一、简介

  德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换，其深紫外激光器尤为特色。基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。

  多数Xiton激光器具备TEM₀₀模式输出，保证优越的聚焦性能，适合直写等应用；单纵模或窄线宽性能是Xiton激光器的另一特征，长长度确保可用于传统上采用气体激光器的计量、全息、光刻等应用。相比传统深紫外波段的气体激光器，固态激光器体积小、寿命更长，维护成本更低。

  二、产品系列

  1、IXION 193深紫外激光器

  IXION 193为全固化单频激光器，其线宽达到变换极限，可用于光学计量、193nm步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。

  典型应用

     • 光谱仪校准

     • 光刻

     • 干涉仪

     • 193nm计量测量

     • 准分子激光器种子源

  2、SLM系列单纵模激光器

  SLM系列提供1064nm，532，355，266，213nm 等多个波长的单纵模、窄线宽纳秒激光输出。

  典型应用

     • 激光雷达

     • 干涉计量

     • 光刻

     • 光纤布拉格光栅（FBG）制造

     • 光谱仪校准

     • 计量学

     • 全息

  3、EXCITE系列

  EXCITE系列尺寸较SLM系列为小，提供266nm - 1064nm单频纳秒脉冲激光。

  典型应用

      • Wafer检测

      • 光致发光

      • 干涉测量

• 拉曼光谱

• 光纤布拉格光栅（FBG）制造

• 光谱仪校准

• 计量学

• 全息

• 干涉直写

4、IMPRESS 213

  IMPRESS 213深紫外激光器可用于FBG刻蚀、钻石及蓝宝石打标加工等应用，213nm波长及TEM00模式使它可以用于小于微米的直写加工。固体深紫外激光器相对于氩离子激光器，具备更佳的寿命、稳定性，更低的能耗和热负荷，适用7×24工业环境运行。

  典型应用

• FBG刻写

• 钻石打标

• 波长敏感处理

• 立体光刻

• 半导体检测

• 替代倍频氩离子激光器

• 光致发光

5、IMPRESS 224

  IMPRESS 224提供介于213nm与266nm之间的224nm波长输出，满足部分对波长有特殊要求的应用（如增强拉曼光谱、痕量气体分析等）。

  典型应用

• FBG刻写

• 波长敏感处理

• 立体光刻

• 显示面板修复

• 微加工

• 半导体检测

• 替代倍频氩离子激光器

• 光致发光

6、IDOL系列

  IDOL系列产生特殊的1342nm波长及其倍频（671nm）、三倍频（447nm），其中1342nm特别适合硅材料处理如隐形划片、集成电路修剪，而671nm、447nm则在显示平板修补领域有广泛应用。

  典型应用

• 显示面板修补

• 隐形划片

• 波长敏感处理

• 硅材料处理

• 微加工