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  • 德国SPS(POLOS) SPIN150x 多功能高质量的基底 旋涂机
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德国SPS(POLOS) SPIN150x 多功能高质量的基底 旋涂机

品牌: SPS
产地: 德国
型号: SPIN150x
报价: ¥1.2万 - 1.3万
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核心参数

产地类别: 进口

旋转速度: 12.000 RPM(取决于底物/卡盘)

旋转精度: 高精度

最大加速度: 1-30.000 RPM

基片直径: 6” (150 mm)

腔体直径: 4” x 4” (100 mm)

产品介绍

一、SPS(POLOS)公司介绍

SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常,您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶,但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜,如嵌段共聚物(BCP),如PDMS和PMMA,或作为低成本的溶胶-凝胶方法,例如旋涂ZnO薄膜。同时,POLOS旋涂机提供无限的工艺:在触摸屏上轻松直观的编程,无限的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺,一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的最好的实验室旋涂机


二、SPS(POLOS)型号介绍

SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i 

SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP

SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less) 

SPS(POLOS) Part nr: 27852 

SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)  


二、SPS(POLOS)产品分类

SPS(POLOS) 旋涂机

易于安装、可重复的旋涂


SPS(POLOS)无掩模光刻

最高精度的纳米结构


SPS(POLOS)面罩矫正器

高产值和用户友好


SPS(POLOS)电炉

精确的温度控制


电影表征

超快速和准确的晶圆映射

光刻胶

适用于永久性应用

喷涂机

高精度纳米颗粒涂层


晶圆处理

安全运输和储存您的晶圆


补充设备

您可能需要的其他工具

三、SPS(POLOS)产品介绍

POLOS SPIN150x

POLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底

旋涂机,由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产

而设计。台式型号可手动或自动(可选)分配化学


POLOS SPIN150x腔体规格

外壳材质 天然聚丙烯(NPP)

最大底物直径 最大可用 6” (150 mm) 晶圆

最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物


POLOS SPIN150x适用范围:

• 涂层

• 清洗冲洗/烘干

• 显影

• 刻蚀

• PDMI

• 其他程序


POLOS SPIN150x硬件规格:

液体过滤疏水阀

POLOS SPIN150x独特的外壳和排水管设计,可切换桌面和Indeck模式

用于注射器或喷嘴的中心注射支架

• 盖锁和真空传感器确保用户安全

• 大尺寸触摸显示屏(可拆卸)

• USB 端口,用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件

更新


POLOS SPIN150x驱动装置规格:

• 间接无刷驱动装置

• 转速高达 12.000 RPM(取决于底物/卡盘)

• 高加速度、高精度

• 加速/减速 1-30.000 RPM

• 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项



POLOS SPIN150x规格硬件 SPIN150x:


POLOS SPIN150x液体过滤阱

独特的外壳和排水管设计,可在现场的桌面和甲板模型之间切换

用于注射器或分配喷嘴的中心注射支架

盖子锁和真空传感器,确保用户安全

大型(可拆卸)触摸屏显示器

USB 端口用于将配方存储在 USB 驱动器上并用于软件更新规范

驱动单元:间接无刷驱动单元 - 高达 12.000 RPM(取决于基板/卡盘)

高加速度和高精度

加速/减速 1 - 30.000 RPM

CW、CCW 旋转和水坑选项

免费卡盘和适配器:


1 x A-V36-S45-PP-HD - 真空吸盘

1 x D-V10-S50-PP-HD - 片段适配器


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 视频远程培训
免费仪器保养: 12个月
保内维修承诺: 在保修期内,所有服务及配件全部免费
报修承诺: 产品邮寄到elma售后维修部进行检测维修
问商家

SPS匀胶机 SPIN150x的工作原理介绍

匀胶机 SPIN150x的使用方法?

SPS SPIN150x多少钱一台?

匀胶机 SPIN150x可以检测什么?

匀胶机 SPIN150x使用的注意事项?

SPS SPIN150x的说明书有吗?

SPS匀胶机 SPIN150x的操作规程有吗?

SPS匀胶机 SPIN150x报价含票含运吗?

SPS SPIN150x有现货吗?

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德国SPS(POLOS)旋涂机 SPIN150x参数

POLOS SPIN150x规格硬件

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2024/05/21

工商信息

企业名称

北京汉达森机械技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110105014684084

成立日期

2012-03-05

注册资本

500

经营范围

技术推广服务;销售电子产品、机械设备、计算机、软件及辅助设备(不含计算机信息系统安全专用产品)、五金交电(不含电动自行车)、针纺织品、金属材料(不含电石、铁合金)、仪器仪表;技术进出口;货物进出口;代理进出口;道路货物运输。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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北京汉达森机械技术有限公司为您提供德国SPS(POLOS) SPIN150x 多功能高质量的基底 旋涂机,SPS SPIN150x产地为德国,属于进口匀胶机,除了德国SPS(POLOS) SPIN150x 多功能高质量的基底 旋涂机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供德国SPS(POLOS) spin 150x新款旋涂仪用于实验室使用、德国SPS(POLOS)单晶圆旋涂机SPIN200i适用于涂层、清洁、漂洗/干燥、德国SPS(POLOS)基材旋涂机SPIN150i用于光刻胶使用,北京汉达森机械技术有限公司客服电话400-860-5168转4953,售前、售后均可联系。
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