德国SPS(POLOS) SPIN150x 多功能高质量的基底 旋涂机

一、SPS(POLOS)公司介绍

SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常，您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶，但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作为低成本的溶胶-凝胶方法，例如旋涂ZnO薄膜。同时，POLOS旋涂机提供无限的工艺：在触摸屏上轻松直观的编程，无限的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺，一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的最好的实验室旋涂机

二、SPS(POLOS)型号介绍

SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i 

SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP

SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less) 

SPS(POLOS) Part nr: 27852 

SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)  

二、SPS(POLOS)产品分类

SPS(POLOS) 旋涂机

易于安装、可重复的旋涂

SPS(POLOS)无掩模光刻

最高精度的纳米结构

SPS(POLOS)面罩矫正器

高产值和用户友好

SPS(POLOS)电炉

精确的温度控制

电影表征

超快速和准确的晶圆映射

光刻胶

适用于永久性应用

喷涂机

高精度纳米颗粒涂层

晶圆处理

安全运输和储存您的晶圆

补充设备

您可能需要的其他工具

三、SPS(POLOS)产品介绍

POLOS SPIN150x

POLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底

旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产

而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学

品

POLOS SPIN150x腔体规格

外壳材质 天然聚丙烯（NPP）

最大底物直径 最大可用 6” (150 mm) 晶圆

最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物

POLOS SPIN150x适用范围:

• 涂层

• 清洗冲洗/烘干

• 显影

• 刻蚀

• PDMI

• 其他程序

POLOS SPIN150x硬件规格：

液体过滤疏水阀

•

POLOS SPIN150x独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式

用于注射器或喷嘴的中心注射支架

• 盖锁和真空传感器确保用户安全

• 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）

• USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件

更新

POLOS SPIN150x驱动装置规格：

• 间接无刷驱动装置

• 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）

• 高加速度、高精度

• 加速/减速 1-30.000 RPM

• 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项

POLOS SPIN150x规格硬件 SPIN150x：

POLOS SPIN150x液体过滤阱

独特的外壳和排水管设计，可在现场的桌面和甲板模型之间切换

用于注射器或分配喷嘴的中心注射支架

盖子锁和真空传感器，确保用户安全

大型（可拆卸）触摸屏显示器

USB 端口用于将配方存储在 USB 驱动器上并用于软件更新规范

驱动单元：间接无刷驱动单元 - 高达 12.000 RPM（取决于基板/卡盘）

高加速度和高精度

加速/减速 1 - 30.000 RPM

CW、CCW 旋转和水坑选项

免费卡盘和适配器：

1 x A-V36-S45-PP-HD - 真空吸盘

1 x D-V10-S50-PP-HD - 片段适配器