使用在线TOC检测，简单实现合规性

2021-08-17 09:26

浏览：24次

资料摘要：

一家快速发展的英国公司需要一个新的去离子水系统，于是向Veolia Water Technologies寻求一套可靠高效的解决方案。当咨询 TOC 监测事宜时，Veolia 推荐了在线总有机碳分析仪，因为其“功能强大、坚固耐用，且梅特勒托利多销售工程师的服务相当到位”。

相关资料

简化制药用水中的TOC测量

制药企业面临着越来越多的资源清单，旨在定义或协助解释监管指导。在确定具体制造过程的方法时，了解这些资源对特定参数、分析仪器和分析方法有何影响至关重要。本文清楚阐述了这些资源的适用性，并通过一个具体的例子展示了制药用水的连续总有机碳（TOC）监测方法。

如何选择合适的TOC传感器

随着最终用户不断完善、更新或更换工艺以提高效率，满足新法规要求，并为客户提供更高质量的产品，他们对其公用事业团队提出了更高的要求，尤其是在水质和确认不含任何污染物方面的要求也越来越高。对于纯水和超纯水用户（制药、微电子和电力）来说，这种过程控制更为关键，因为水质的任何偏差都会对水系统和最终产品/能源生产造成重大影响。作为这一努力的一部分，需要对关键污染物总有机碳（TOC）进行控制。

借助在线TOC提高晶圆质量和产量

由于微电子工业技术的高速发展，对晶圆加工中使用的超纯水（UPW）的要求变得日趋严格。随着每片晶圆上的芯片数量增加，芯片电路中的线宽变得更窄，目前线宽已缩小至单数纳米范围。因此， UPW的监测和控制对于FAB和晶圆代工厂至关重要。必须实时监测的两个关键参数是电阻率和总有机碳（TOC）。严格控制UPW系统中的这些参数，能够帮助半导体制造商提升产品质量，并最大限度地提高产量

半导体行业TOC对水质的影响

超纯水是半导体行业在清洁与生产晶圆时所采用的最有效的强溶剂。在过去的四十年中，电子行业蚀刻到硅芯片上的电路数量发生了指数性增长。电路数量的增加大大减小了线宽，因此，对超纯水系统准确且持续测量的要求更高。

产品推荐