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日本Ulvac返回式磁控溅射装置

品牌:
产地: 日本
型号: CS-200Z
报价: 面议
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核心参数

产地类别: 进口

产品介绍

Load-Lock Type Sputtering System 返回式真空溅射装置 CS-200z


装置外观·功能

  CS-200z

 CS-200z外观-装置正面 CS-200z外观-腔体打开 是高真空交直流溅射设备.适用于金属、合金 、陶瓷材料的高品质溅射成膜.

托盘方式外观

托盘方式:Ti材质托盘,任意形状wafer兼容.

设备构成概览

装置基本配置:

装置优势性能-1-省空间

占地面积: 占地面积小,含操作维护空间1500×4500mm

装置优势性能-2-高集成化设计

搬运方式: 装置集成化设计,搬运省时便捷.

装置优势性能-3-兼容好

Φ2、3、4…inch Ti Tray(Φ320mm ) 50*50 、 X*X Ti Tray (50*50) 基板兼容性: 任意形状基片兼容,只需更换托盘.

装置优势性能-4-操作方便

操作: ULVAC GPCS-2700 system onboard! PLC control + PC interface

装置优势性能-5-对话界面简洁

对话界面: english通用版.简洁易识别. 装置所有机构界面上都有显示,也可以操作.

装置优势性能-6-工艺菜单编辑简单

工艺菜单编辑界面:english版.操作简单易识别.

装置优势性能-7-log 功能

数据LOG: PC保存,可以导出EXCEL格式,便于分析.

装置优势性能-8-参数

装置施设参数

施设要求: 点击查看详细.

装置生产现场-无尘车间

生产现场:

装置在无尘车间中生产,保证真空设备高品质.


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
问商家

光学平台CS-200Z的工作原理介绍

光学平台CS-200Z的使用方法?

CS-200Z多少钱一台?

光学平台CS-200Z可以检测什么?

光学平台CS-200Z使用的注意事项?

CS-200Z的说明书有吗?

光学平台CS-200Z的操作规程有吗?

光学平台CS-200Z报价含票含运吗?

CS-200Z有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

联系我们
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供日本Ulvac返回式磁控溅射装置CS-200Z,nullCS-200Z产地为日本,属于进口光学平台,除了日本Ulvac返回式磁控溅射装置的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多光学平台,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。
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