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MC方案：酒石酸-苏氟酸阳极氧化（TSA）的控制
2020/03/09 16:02
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方案摘要：
产品配置单：
CNI v3.0 PV紧凑型纳米压印
型号： CNI v3.0 PV
产地： 丹麦
品牌：
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进口纳米狭缝涂布机
型号： nRad
产地： 美国
品牌：
面议
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便携式光学膜厚仪
型号： FR-portable
产地： 希腊
品牌：
¥10万 - 20万
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方案详情：
酒石酸-苏氟酸阳极氧化（TSA）的控制-用WLRS表征阳极涂层
目的：测定酒石酸-硫酸阳极氧化铝合金阳极镀层的厚度
方法：采用全铬工艺制备铝-2024合金，并按照标准工业酒石酸-硫酸阳极氧化和不同的工艺时间进行阳极氧化。按照标准测量程序（样品的反射光谱、铝镜的参考反射光谱、暗光谱），使用在400-800nm光谱范围内工作的FR基本工具测量阳极涂层厚度和折射率。利用在FR监控软件中实现的WLRS算法对反射光谱进行拟合，提供了氧化铝层的折射率和厚度。将测量的涂层厚度值与触针轮廓仪（Ambios XP-2）的值进行比较。
结果：显示了一个样本的实验反射率数据（黑色曲线）和用WLRS算法拟合（红色）的结果。在所有情况下，证明了实验曲线和拟合曲线中极值位置的合理一致性，并以高精度计算了涂层厚度。在某些情况下，两条曲线之间极端振幅的偏差可归因于探测区域的表面粗糙度增加或涂层厚度变化。由fr监测仪计算的折射率在1.45-1.55范围内。在表1中，通过WLRS计算的涂层厚度与轮廓测量值进行比较。
显示了厚度映射（4cmx4cm）。厚度（刻度条单位：nm）在2000 nm到2350 nm之间变化。在Y轴20000 um（2 cm）处观察到明显的厚度变化（在阳极氧化过程中有意制造），无法使用标准厚度测量技术检测到。 结论：WLRS在一个准确而有力的方法学中用于铝合金阳极镀层厚度的非接触、无损、快速测量，或相关的阳极氧化方法。
FR的工具基于白光反射光谱(Reports) 。
准确同步的厚度测量及薄膜的折射率
-一个广泛的多样化的应用范围广泛的光电
特性的工具和整体解决方案，如:
半导体、有机电子、聚合物、涂料和涂料、
光伏、生物传感、化学传感...
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