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核心参数
产品种类： 非接触式轮廓仪/粗糙度仪
产地类别： 进口
其它参数
Profilm3D 光学轮廓仪
低成本–高精度
Filmetrics让3D光学轮廓测量的价格变得更加能够接受。Profilm3D使用先进的垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以优良的价格实现次纳米级的表面形貌研究。
100mm自动XY样品台
您还在位每人都希望要的功能而支付额外的费用吗？我们现在每台Profilm3D都将100mm自动XY样品台，4孔物镜转台和手动调平装置作为标准配置。
超大的视场范围
Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的超大视场范围，同时其最大4倍光学变焦的功能缓解了不同应用时切换多个物镜的需求。这些都进一步降低了采购成本。
特征值
8 μm 台阶高度
精确度是指每天测量30次10um台阶高度标样的1次标准差，连续成功测量20天的平均值。环境温度稳定性小于 1°C。
稳定性是指连续成功测量10um台阶高度标样20天，取每天测量30次数值的平均值，计算2倍标准差。环境温度稳定性小于 1°C。
所有变焦缩放后的有效像素为648 x 484 (通过数位化的pixel binning实现)
分开销售
样品上投影的像素大小
样品表面粗糙时可测最大倾角将更大
美商菲乐轮廓仪Profilm3D的工作原理介绍
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