高精度纳米级压电位移平台“PIEZOCONCEPT”！--半导体界后摩尔时代的手术刀。

2024-04-03 13:57

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资料摘要：

昊量光电推出“PIEZOCONCEPT”公司高精度单轴、双轴、三轴纳米级位移压电位移台、物镜扫描台、快反镜系列产品；该压电平台以压电陶瓷为驱动，采用了柔性铰链连接的方法，具备精确导向性、高稳定性、高抗疲劳性的特点，同时搭配高精度硅基位移传感器、16Bit高分辨率高速控制器，具有高响应速度，亚纳米级的分辨率，超低底噪（10-50pm）和超高线性度（0.02%），广泛应用于高精密位移方向，包括但不局限于半导体领域；该系列产品包括X轴、Z轴单轴位移平台，XY轴双轴、XYZ轴三轴位移平台、FOC系列物镜扫描台，一维、二维快反镜。

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