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BM系列连续流风囊泵主要用于：半导体光刻工序的光刻胶涂覆，锂离子电池等电池制造工序的电解液注液
电动风囊泵（Bellows Pump）也称电动波纹管泵，依靠波纹管往复伸缩调节容积大小来完成吸液和出液，实现高精度的化学分配。电动风囊泵与介质接触的材料为PFA、PTFE,流路不含金属材料，同时无需轴封的设计可以防止液体泄露和外部气体进入。因此，电动风囊泵常被用于半导体湿法制程中腐蚀性化学品和非腐蚀性液体物料的转运、循环和输送，如：光刻胶、纯水、氢氟酸和其他药液。
电动风囊泵产品用途：
半导体光刻工序的光刻胶涂覆
锂离子电池等电池制造工序的电解液注液
其他液体化学品或液体物料的定量吐出
电动风囊泵特点：
接液部由氟树脂构成，适用于各种药液；
接液部无滑动结构，几乎不因泵的动作产生粒子；
丝杠传动，实现数字化的±1%精度吐出量控制；
无外部气体进入，不易产生电解液结晶化结构；
可实现高精度连续流流体输送（定制）
电动风囊泵产品参数：
| 型号 | BM-10 | BM-50 | BM-100 | BM-200 |
| 流量范围 | 1.0-10.0ml/min | 1.0-50.0ml/min | 1.0-100.0ml/min | 1.0-200.0ml/min |
| 输送粘度范围 | 0-300cP | |||
| 增量 | 0.1ml/min | |||
| 流量准确度 | ±1% | |||
| 压力范围 | ≤0.5MPa | |||
| 进液管口径 | φ6mm×φ4mm | |||
| 出液管口径 | φ3.175mm×φ1.58mm | |||
| 流路材料 | PTFE、PFA、特种陶瓷 | |||
| 通讯功能 | USB、RS232、RS485；Modbus通讯协议 | |||
| 电源 | 85-264VAC，50Hz | |||
| 功率 | 20W | |||
| 重量 | 8kg | |||
| 外形尺寸 | 362×169×278mm3 | |||
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企业名称
上海三为科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310104000502656
成立日期
2011-10-27
注册资本
1500000
经营范围
一般项目：仪器仪表、实验分析仪器、机械设备、玻璃制品、电子产品、通讯设备销售，计算机软硬件及辅助设备批发、零售，从事计算机科技领域内的技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广，仪器仪表制造（限分支机构经营）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
上海三为科学仪器有限公司
公司地址
中国（上海）自由贸易试验区临港新片区新杨公路860号10幢
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