核心参数
仪器种类: 管式炉
最高温度: 0
控温精度: 0
最大功率: 0
升温速度(达到最高温): 0
加热方式: 0
内部尺寸: 0
OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组,这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。
技术参数
设备型号 | OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL | OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL | OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL |
炉管尺寸 | 2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L | 3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L | 5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L |
产品优点 |
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等离子发射源 |
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真空泵机组 |
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质量流量计 |
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控温软件 |
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总尺寸 |
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质保期和认证 | 一年质保期 (耗材部分:如炉管,“O”型高温密封圈,加热元件等不在保修范围)
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国家专利 | 专利名称:可组合式等离子增强化学气相沉积装置 专利编号:ZL-2011-2-0355777.1 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 | ||
使用注意事项 |
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企业名称
合肥科晶材料技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(中外合资)
信用代码
913401001490220724
成立日期
1997-06-19
注册资本
伍佰零肆万玖仟壹佰美元整
经营范围
材料制造、销售;科学仪器设备的生产、研发、销售及技术咨询;实验、测试及实验器械的租赁服务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
合肥科晶材料技术有限公司
公司地址
安徽省合肥市科学院路10号
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