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C10178-01 纳米膜厚测量仪系列

产品详情

C10178-01 纳米膜厚测量仪系列

C10178-01 纳米膜厚测量仪系列
参考报价:
 面议
型号:
 C10178-01
品牌:
 滨松
产地:
 日本
样本:  【暂无】 信息完整度:  
典型用户:  0
分享:
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名 称: 滨松光子学商贸(中国)有限公司
认 证: 工商信息已核实
信用积分:2705
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产品简介

C10178-01 纳米膜厚测量仪系列


    C10178-01型光学膜厚测量仪是一款利用光谱相干度量学工作的非接触型膜厚测量系统。通过光谱相干,可快速、高灵敏度、高准确度地测量膜厚。由于使用我公司的光子多通道分析仪(PMA)为探测器,在测量多种滤光片、镀膜等的膜厚的同时,还可以测量量子收益、反射率、透射率以及吸收系数等多种项目。欢迎您登陆滨松中国全新中文网站 http://www.hamamatsu.com.cn/ 查看该产品更多详细信息!

特性

  • 高速、高准确度

  • 实时测量

  • 映射功能

  • 不整平薄膜精确测量

  • 分析光学常数(n,k)

  • 可外部控制

  • 与特定附件配合,可测量量子收益、反射率、透射率以及吸收系数等。

参数

型号C10178-01
测量模型标准型(通用测量)
可测膜厚范围(玻璃)20 nm to 50 μm*1
测量可重复性(玻璃)0.01 nm*2 *3
测量准确度(玻璃)±0.4 %*3 *4
光源卤素灯
测量波长400 nm to 1100 nm
光斑尺寸Approx. φ1 mm*3
工作距离10 mm*3
可测层数最多10层
分析FFT 分析,拟合分析,光学常数分析
测量时间19 ms/点*5
光纤接口形状φ12套筒型
外部控制功能RS-232C, 通过PIPE或Ethernet进行内部软件数据传输
接口USB2.0
电源AC100 V to 120 V/ AC200 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗250W

*1:以 SiO2折射率1.5来转换

*2:测量400 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏差

*3:取决于所使用的光学系统或物镜的放大率

*4:可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中

*5:连续数据采集时间不包括分析时间



注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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