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GIXRD应用案例——单晶硅上镀100nm的金薄膜衍射分析
2023/08/30 15:41
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方案摘要：
产品配置单：
浪声FRINGE 台式XRD X射线衍射仪
型号： FRINGE
产地： 江苏
品牌： 浪声
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方案详情：
X射线测试技术被广泛用于各种薄膜材料的表征。薄膜材料厚度比较薄，通常需要依附于一定的衬底材料之上。而常规XRD测试，X射线的穿透深度一般在几个微米到几十个微米，远远大于薄膜的厚度，导致薄膜的信号会受到基地的影响，来自基底的强大信号会把薄膜的信号掩盖掉。另外，随着衍射角度的增加，X射线在样品上的照射面积逐渐减小，X射线只能辐射到部分样品，无法利用整个样品的体积，衍射信号弱。
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