XP-703D半导体特气检漏仪

• 二氧化氯检测仪

日本新宇宙半导体特气检漏仪XP-703D/XP-703D半导体特气检漏仪/气检漏仪XP-703D

XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪 / 

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pgm1190/pgm-1190氯气检测仪（CL2）
pgm1130/pgm-1130二氧化硫检测仪（SO2）
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pgm1150/pgm-1150二氧化氮检测仪（NO2）
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sp1104/sp-1104有毒气体检测器
sp2102/sp-2102可燃气体检测仪
sp2104/sp-2104有毒气体检测仪
sp3104/sp-3104有毒气体检测仪
sp3101/sp-3101氧气检测仪
sp4101/sp-4101氧气检测器
sp4102/sp-4102可燃气体检测器
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• 二氧化氯检测仪

XP-703D半导体特气检漏仪技术参数：

型 号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理
热线型半导体式

采样方式
自动吸引式

可检测浓度

（单位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气

AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2

0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度
10秒以内

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XP-703D半导体特气检漏仪产品特点：
1.最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
2.采用声光报警。

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