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仪器信息网 > 瞬渺科技 >解决方案 > 数字全息显微镜DHM检测分析MEMS陀螺仪谐振频率
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解决方案
数字全息显微镜DHM检测分析MEMS陀螺仪谐振频率
应用领域: 发布时间:
2018-02-24
检测样品: 检测项目:
谐振频率
参考标准:
JJF 1219-2009
浏览次数:
21
下载次数:
0 次
方案优势
MEMS器件谐振频率测量常规方法是采用多普勒激光测振仪,主流激光多普勒测振仪测量面外运动精度为5pm,与DHM精度相仿;而DHM检测面内运动精度达到了1nm,远超MEMS激光测振仪的精度。
实验设备
参考报价:
2000000
型号:
R2200
品牌:
Rayscience
产地:
英国
关注度:
79
完整度:
大小:828kb
其它方案
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展位地址:https://www.instrument.com.cn/netshow/SH101545/