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波前分析仪——四波横向剪切干涉技术介绍phasics SID4 系列

发布时间:2018/09/10 15:35 下载:1 次 免费下载
剪切干涉波前测量是将待测波前和其自身的一个微小平移进行干涉的测量技术。由于剪切干涉测量具 有不需要参考波前、采用共光路系统、可抵抗外界扰动影响、对照明光源的相干性和干涉装置平台稳定性 要求低等特点,既能保证较高的波前检测精度,又能获得较高的空间分辨率,该方法在许多实际波前检测 中显示出其特有的优势。
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