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理化公司成为美国JC Nabity公司NPGS纳米图形发生系统中国地区授权代理商

发布时间:2012/03/28 11:18 下载:2 次 免费下载
理化公司成为美国JC Nabity公司NPGS纳米图形发生系统中国地区授权代理商。美国JC Nabity Lithography Systems成立于1988年,公司成功研发了基于改造SEM、STEM或FIB的电子束曝光装置(Nanometer Pattern Generation System纳米图形发生系统,简称NPGS,又称电子束微影系统)。电子束曝光技术具有可直接刻画精细图案的优点,且高能电子的波长短(< 1 nm),可避免绕射效应的困扰,是实验室制作微小纳米电子元件最佳的选择。相对于购买昂贵的专用电子束曝光机台,以既有的SEM等为基础,外加电子束控制系统,透过电脑介面控制电子显微镜中电子束之矢量扫描,以进行直接刻画图案,在造价方面可大幅节省,且兼具原SEM 的观测功能,在功能与价格方面均具有优势。由于其具有高分辨率以及低成本等特点,在北美研究机构中,JC Nabity的NPGS是最热销的配套于扫描电镜的电子束微影曝光系统,而且它的应用在世界各地越来越广泛。 NPGS的技术目标是提供一个功能强大的多样化简易操作系统,结合使用市面上已有的扫描电镜、扫描透射电镜或聚焦离子束装置,用来实现艺术级的电子束或离子束平版印刷技术。NPGS能成功满足这个目的,得到了当前众多用户的强烈推荐和一致肯定。
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