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NPGS电子束曝光系统相关知识

发布时间:2011/12/22 10:57 下载:8 次 免费下载
NPGS技术以市场上商业电镜为基础,提供了一个功能强大且操作简易的电子束曝光系统。事实上,NPGS可以应用到任何SEM, STEM或FIB以实现电子束光刻技术作为基础研究及技术开发。市场上还没有其他扫描电镜电子束曝光系统可以像NPGS一样提供既快速且高精度的电子束光刻技术,并且使用成本有了很大程度的降低。
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