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NPGS电子束曝光系统

发布时间:2011/12/16 09:27 下载:1 次 免费下载
NPGS为电子束直写光刻图形发生系统,改造现有SEM等,外加电子束控制系统,将会聚的电子束斑逐点地在样品台上移动,直接辐照电子抗蚀剂上或刻蚀基片形成图形。相对于购买昂贵的专用电子束曝光机,以既有的SEM等为基础,可大幅节省造价,且兼具原SEM 的观测功能,在功能与价格方面均有优势。
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