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  • 英国Quorum Q300T大腔室多功能全自动高真空溅射镀膜仪
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英国Quorum Q300T大腔室多功能全自动高真空溅射镀膜仪

品牌: Quorum
产地: 英国
型号: Q300T T
报价: ¥50万 - 100万

核心参数

仪器种类: 台式/桌面型

电子枪种类: 冷场发射

产地类别: 进口

二次电子图象分辨率: 0

放大倍数: 0

加速电压: 0

背散射电子图像分辨率:

产品介绍

三靶大面积溅射系统之高分辨涡轮泵版本,CPU程序全自动控制,触膜屏用户界面,标配有挡板和靶材预清洁程序,既适合贵金属、也适合易氧化金属等多种靶材镀膜。
Q300T T镀膜仪是为薄膜应用而设计的多功能离子溅射镀膜仪,也是钨灯丝和场发射电镜观察之大样品制备的理想镀膜仪。为了确保精细沉积,Q300系列镀膜仪设有旋转样品台和三只相同的磁控靶组件,这也将提高采用低电压溅射的工作效率。该系统之高分辨涡轮泵版本Q300T T镀膜仪标配有挡板,作用是在保持真空条件下使易氧化金属靶材先进行清洁处理,然后再执行镀膜循环。所以,它既适合使用不氧化的贵金属如金(Au)、铂(Pt)等靶材镀膜,也适合易氧化金属如铬(Cr)、铝(Al)、钛(Ti)、锌(Zn)或氧化铟锡(ITO)、铱(Ir)等多种靶材镀膜。
和极其成功的Q150系列溅射仪、蒸镀仪一样,Q300T T型镀膜仪装在一个符合人机工程学设计的、坚固的整体成型机箱中,并且集成有触摸屏控制,对有经验的熟手和第一次使用的用户都适合的简单操作,从而可提供卓越的镀膜质量。
主要特点:
• Large format chamber.The Q300T T sputter coaters incorporate a 300mm x 127mm work chamber and the sample stage accepts substrates up to 8” in diameter. An extended height glass chamber is available as an option to enable coating of larger format samples. 大腔室。Q300T T型溅射镀膜仪设有尺寸为300mm x 127mm的工作腔室和适用于最大直径达8”样品的样品台。可选配加长高腔室,以便于大且高的样品镀膜。
• Triple sputter head 三靶大面积溅射
• High resolution turbo pumped system 高分辨涡轮泵版本;抽速5 m3/hr的涡卷泵或隔膜泵(隔膜泵仅用于Q300T T)可很好地替代普通的前级旋转机械泵,适合于无油或无尘室环境质量要求高的抽真空场合。
• Fully automated touch screen control 全自动触摸屏控制
• Coater logging option 镀膜仪日志(选项)
• Customer defined coating protocols 用户自定义镀膜方案
• Film thickness monitor option 膜厚监控(选项),可通过腔室内的晶振片装置测量镀膜厚度,也可预设厚度去控制材料沉积在样品上的膜厚度,达到需要的镀膜厚度时,镀膜仪可自动停止镀膜
• Vacuum shutdown 真空闭锁功能
• Emergency stop switch 紧急停止开关

售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 安装时免费培训操作和维护方法
免费仪器保养: 不定期上门回访服务
保内维修承诺: 免费更换零部件免人工服务费
报修承诺: 24小时内电话指导排除故障如需要将在35个工作日内上门维修
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型号:SEMI-KLEEN

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工商信息

企业名称

南京覃思科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

913201067594581806

成立日期

2004-03-12

注册资本

500万元整

经营范围

电子光学仪器、光学仪器、分析仪器、测量仪器、仪器仪表研发及销售;计算机系统集成;计算机软硬件、工业自动化系统设计、安装、调试及技术服务;仪器仪表设备维修及销售;化工产品、耗材、建筑材料、环保设备、五金交电、办公设备、机电产品、日用百货销售;自营和代理各类商品及技术的进出口业务(国家限定企业经营或禁止进出口商品和技术的除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

联系方式
南京覃思科技有限公司为您提供英国Quorum Q300T大腔室多功能全自动高真空溅射镀膜仪Q300T T,QuorumQ300T T产地为英国,属于进口扫描电镜(SEM),除了英国Quorum Q300T大腔室多功能全自动高真空溅射镀膜仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供美国PIE等离子清洗仪,覃思科技客服电话400-860-5168转1300,售前、售后均可联系。
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主营产品:

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