DLC/PVD/CVD等各类涂层中硬度、模量、蠕变、弹性功等力学性能测试

2018-03-02 09:56

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资料摘要：

特殊的涂层工艺，如 DLC(类金刚石碳膜）PVD (物理气相沉积) 或 CVD (化学气相沉积) 对测量技术提出了挑战。极薄的涂层对测量提出了更高的要求，使得传统的显微硬度计无法对如此薄的涂层/薄膜的机械性能做出正确的测量。菲希尔（FISCHER）采用仪器化压入测试方法的自动化纳米压痕仪，可以对该类涂层的性能做出快速、准确的测量，十分适用于研发、质量控制、来料检验和过程控制等领域。

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