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告别传统离子源,新一代极低温Cs+离子源FIB聚焦离子束系统
简介:
运用曾获诺贝尔奖的激光冷却技术,zeroK Nanotech公司于2020年推出了基于极低温铯离子源(Cs+ LoTIS)的新一代高性能聚焦离子束系统—FIB: ZERO(Cs+ LoTIS)和相应的离子源升级配件——FIB:RETRO。极低温技术可以减少离子束中的随机运动,从而使FIB:ZERO中的离子束斑与传统离子源产生的束斑相比具有更高的亮度,更小的尺寸和更低的能量散失。