您好，欢迎访问仪器信息网

搜全站

搜展位

铂悦仪器（上海）有限公司

关注

已关注

金牌19年

已认证

粉丝量 0

400-801-8356

仪器信息网认证电话，请放心拨打

全部分类

首页

台阶仪在晶圆测试的应用

2022/09/14 13:25

阅读：192

应用领域：

半导体

发布时间：

2022/09/14

检测样品：

集成电路

检测项目：

物理性质

浏览次数：

192次

下载次数：

1次

免费下载

参考标准：

晶圆测试

方案摘要：

晶圆在制作电路的流程中，主要以光刻、蚀刻、沉积、研磨、抛光等工艺排列组合，在硅片上将电路层层叠加。Dektak-XT接触式表面轮廓仪能够用于每个工艺过程。

产品配置单：

分析仪器

BRUKER布鲁克台阶仪Dektak XT

型号： Dektak -XT

产地：德国

品牌：布鲁克

¥30万 - 40万

参考报价

联系电话

Bruker布鲁克台阶仪Dektak XTL

型号： Dektak XTL

产地：德国

品牌：布鲁克

¥70万 - 100万

参考报价

联系电话

方案详情：

自2014年起，国产12寸晶圆的量产问题得到解决，国产晶圆进入到一个飞速发展的时期中。晶圆作为芯片的载体，在当今科技时代起着至关重要的作用，小到遥控器、手机，大到航天领域，例如卫星等都离不开晶圆。那么晶圆的加工工艺是否达到标准决定了成品的优劣。今天笔者就为大家介绍布鲁克Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪（也叫台阶仪）在晶圆方面的测试应用。

Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪（台阶仪）作为Dektak系列第十代产品，经过50多年的更新升级及技术创新，目前已成为使用广泛的接触式表面检测设备，有着众多的用户群体并得到好评。

①台阶高度重现性低于4Å

②主流的LVDT传感器技术

光刻/沉积：光刻/沉积工艺中台阶高度的测试

蚀刻：蚀刻工艺中台阶高度或凹槽深度的测试

抛光/研磨：抛光/研磨工艺中粗糙度的测试

在以上测试中，台阶仪都能够快速，准确的得到相应数据。

下载本篇解决方案：

资料文件名：

资料大小

下载

台阶仪在晶圆测试的应用.pdf