布鲁克Dektak XT探针式表面轮廓仪（台阶仪）

      自1968年台阶仪Dektak Ⅰ面世以来，迄今已有50多年的发展历程。通过整合技术，突破创新，Dektak系列台阶仪已经来到了第十代，目前我们主要有两种型号:桌面式DektakXT（图1），样品兼容可到8寸；另外一款是集成了防震台一体化的落地式DektakXTL，它的兼容样品可以达到12寸（图2）。布鲁克第十代Dektak 产品在过去五十年不断的技术创新，得到众多使用客户的认可。

图1                                                                     图2

台阶高度重现性低于 4 Å

Dektak XT 是使用single-arch 设计的探针轮廓仪， single-arch 设计及智能电子器件，大大改善了设备稳定性，进一步提高防震性能。Dektak XT在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现，台阶高度重复性可低于4Å。使用 single-arch 结构比原先的悬臂梁设计更加稳固，降低了对不利环境条件的敏感性，如声音和震动噪音。

方便的更换探针技术让一切变得轻松

对多用户仪器而言，能快速轻松更换探针以适应不同应用是必要的。Dektak台阶仪的转接头和探针通过强磁吸附进行连接，在探针更换工具的配合下，更换探针简单、方便、易操作（图3）。DektakXT 新的针尖自动校准，消除任何潜藏的针尖更换/校准隐患。这一技术让其他困难并耗时的任务变得轻松且快速。为尽量满足使用的要求，Bruker 提供了范围广泛的标准和客户定制探针规格，包括用于深沟渠测量的高径比针尖。

图3

LVDT:主流的微位移传感技术广泛应用于航空航天等领域

作为探针式表面轮廓仪核心的部件—传感器，Dektak XT采用LVDT传感器原理，即Linear Variable Differential Transformer线性可变差动变压器（图4），其优势包括：无摩擦测量、延长机械寿命、提高分辨率、零位可重复性、轴向抑制、坚固耐用、环境适应性、输入/输出隔离。

图4

带机械臂的全自动传片台阶仪

 全自动型台阶仪（cassette-to-cassette台阶仪），将Bruker DektakXTL台阶仪系统和机械传送臂相结合（图5），实现了全自动上下片，通过图形识别等功能实现自动准确定位（样品定位精度在±5微米），自动检测，数据自动输出和上传，减少人工成本和人员误差，可以实现75mm到300mm晶圆检测全自动化。为半导体行业在工艺开发，质量保证与质量控制应用方面进行了优化。

图5

台阶仪主要用于材料表面的2D，3D测量，可以测试台阶高度，表面粗糙度；同时也适合材料表面沟槽深度的测试；能够在微电子，半导体及化合物半导体，太阳能、超高亮度发光二管（LED）、OLED、ITO、微流控、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。Dektak台阶仪测量薄膜材料可以达到埃级重现性和1nm-1mm的测量范围。