聚焦离子束扫描电镜 LYRA3 GMU/GMH

仪器简介：

LYRA 3 GMU/GMH是TESCAN*新推出的一款聚焦离子束扫描电镜,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有使用方便,产品质量稳 定,分析*为特点的独创设计。该型号样品台行程大，可承受*大样品重量甚至可达10Kg，是现有样品台可载重*大的扫描电子显微镜。使用于航空航天，汽 车配件，发动机等事业单位和研究单位，其超大的样品室和载重可为您带来无可比拟的便捷，使得对一些不方便进行切割等处理的样品的观察成为可能。

该系列中的Cobra型号离子枪更提供了前所未有的分辨率。

技术参数：

场发射(FE-SEM)部分： 
1.分辨率: 
高真空(SE):1.0nm at 30kV,2.2nm at 3kV ,4nm at 1kV 
低真空模式(LVSTD,BSE):2.0nm at 30kV 
2.放大倍数:1 ~ 1000000x 
3.真空系统:枪体真空<1*10-6Pa 
   低真空：7 ~ 500Pa,高、低真空可随时方便切换. 
4.加速电压0.2kV to 30Kv 
5.电子束电流 ：2pA ~ 200nA 

离子束(FIB)部分： 
6.分辨率：

      Canion机型：<5nm (30kV)

      Cobra机型：<2.5nm (30kV)
7.放大倍数:150 ~ 1000000x 
8.真空系统:枪体真空<5*10-6Pa 
9.加速电压：0.5kV to 30kV 
10.电子束电流 ：1pA—40nA （Canion)

                1pA—50nA （Cobra)

11.样品室内部直径：340mm(宽)*315(深) 
样品室门：340mm(宽) x 320mm(高) 
12.样品台行程: 
X=130mm--马达驱动(50 mm to +80 mm) 
Y=130mm--马达驱动(65 mm to +65 mm) 
Z=100mm--马达驱动 
旋转﹕360度连续--马达驱动 
倾斜﹕-60度~90度--马达驱动 
*大样品高度：139mm 
13.样品台*大承重可达10KG

主要特点：

国内*使用中文操作界面的电镜厂商 
1.系统实现了电子束和离子束的共聚焦，有气体注入系统; 
2.可以提供五种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,channeling模式，可以非常方便的寻找样品位置; 
3.独创的低真空二次电子探测器(LVSTD). 
4.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品; 
5.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵，FIB电子枪部分使用离子泵，抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却. 
6.采用主动式电磁减震系统，对环境的要求更宽泛 
7.*的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 
8.完善的自动功能，能帮助您更快更好的获取图片 
9.20个以上外扩展接口,可安装更多的附件
10.可进行远程控制