搜全网
搜本展位
当前位置:仪器信息网 > 北京佳仪 >

硅晶片气体捕集装置

产品详情

硅晶片气体捕集装置

硅晶片气体捕集装置
参考报价:
 面议
型号:
 SW-8400 & SW-12400
品牌:
 JAI
产地:
 日本
样本:  【下载】 信息完整度:  
典型用户:  1
吸附管数量:
 1支
解析率:
 70%
冷阱温度:
 无
控温范围:
 室温至500℃
价格区间:
 50万-100万
仪器种类:
 二次热解析仪、热解吸仪
分享:
400-860-5168转0722
仪器信息网认证,请放心拨打
产品简介

仪器简介:
?用于捕集8吋和6吋硅晶片表面的挥发性成分(有机污染物)。(SW-8400)
?用于捕集12吋硅晶片表面的挥发性成分(有机污染物)。(SW-12400)
?捕集单面硅晶片挥发性气体,操作简便。
?加热炉采用倒悬方式(参照下图),仅对晶片正面产生的气体进行捕集采样。
?加热炉最高可加热到500℃。
?加热炉封口采用O形环(聚亚胺材质)密封,无泄露。
?一般采用PAT(内容积10ml,填充2.5g Tenax GR)捕集气体。也可选用其他厂家的相应捕
集采样管进行采样。
?配备冷却水循环装置。
?配备防过热装置、联锁安全装置、急停按钮、漏水传感器(选配)等安全防范装置。


技术参数:
方式            : 倒悬方式

捕集硅晶片尺寸: 8"或6",5"以下需添加扩充环(12400型,12")

O形环:封口部直径220mm(聚亚胺)

石英加热炉: 透明石英材质

加热炉加热方式: 顶板?底板独立加热方式

加热炉使用温度: 常用400℃(最高可达500℃)

加热炉冷却: 冷却水循环装置

保温管: 内表面惰性化镀层处理

吹扫气: 通常用氮气,最大使用流量500ml/min

防过热装置: 电流15A,感应电流30mA

急停按钮: 红色,蘑菇型

安全装置: 联锁结构

加压方式: 电机驱动

设备尺寸: 1140(W)×1106(H)×750(D)mm

电源: 单相AC200V、15A?AC100V、20A

重量: 280 Kg

标准附件:

PAT(一级吸附管): 2支(与其它公司捕集管不配套)

PAT架: 1个(与其它公司捕集管不配套)

PAT适配器: 1个(与其它公司捕集管配套使用)

O形环: 2个

冷却水循环装置: 1台(附标准配管)

保温管: 1支

气体配管: 1套(1/16"-1/8")

缆线: 1套

工具: 1套

操作说明书: 1册

*SW-12400型的技术规格请垂询。


主要特点:
?用于捕集8吋和6吋硅晶片表面的挥发性成分(有机污染物)。(SW-8400)
?用于捕集12吋硅晶片表面的挥发性成分(有机污染物)。(SW-12400)
?捕集单面硅晶片挥发性气体,操作简便。
?加热炉采用倒悬方式(参照下图),仅对晶片正面产生的气体进行捕集采样。
?加热炉最高可加热到500℃。
?加热炉封口采用O形环(聚亚胺材质)密封,无泄露。
?一般采用PAT(内容积10ml,填充2.5g Tenax GR)捕集气体。也可选用其他厂家的相应捕
集采样管进行采样。
?配备冷却水循环装置。
?配备防过热装置、联锁安全装置、急停按钮、漏水传感器(选配)等安全防范装置。

硅晶片气体捕集装置信息由北京佳仪(JAI-CHINA)分析设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于硅晶片气体捕集装置报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:对于医疗器械类产品,请先查证核实企业经营资质和医疗器械产品注册证情况

售后服务
  • 免费上门安装:是
  • 保修期:1年
  • 是否可延长保修期:否
  • 保内维修承诺:免费上门,免除消耗品外部件费用
  • 报修承诺:24小时响应,48小时内上门
  • 免费仪器保养:1年1次
  • 免费培训:1次免费培训
  • 现场技术咨询:无
典型用户
采购单位名称 采购时间 购台数 应用领域
无锡海力士—恒亿半导体有限公司
2006/04/01 1
  • 推荐产品
  • 供应产品
  • 产品分类
400-860-5168
分机号:0722
仪器信息网认证,
请放心拨打
扫码拨打
访问手机展位
北京佳仪官方展位由仪器信息网设计制作,工商信息已核实。
展位地址:https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100722/