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高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)

产品详情

高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)

高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)
参考报价:
 面议
型号:
 ESPion
品牌:
 Hiden
产地:
 英国
样本:  【暂无】 信息完整度:  
典型用户:  0
价格区间:
 
设备尺寸:
 
控制方式:
 
功率:
 
工作气体:
 
样品腔材质:
 
样品腔容积:
 
射频频率:
 
仪器种类:
 
分享:
400-860-5168转0702
仪器信息网认证,请放心拨打
产品简介
仪器简介:
ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是最先进可靠的朗缪尔探针(Langmuir Probe)。


技术参数:
应用:

· 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体
· 脉冲等离子体操作
· 离子密度 (Ni & Gi)
· 电子温度(Te)
· 电子能量分布(EEDF)
· 电子密度(Ne)
· 等离子体电位
· Debye 长度,悬浮电位


主要特点:
· 获得数据速度:每秒15次扫描,通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析
· Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位,在所有的商业化探针中 ESPion 具
有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频率
· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(例如,反应室
内腔阳极氧化所致) 或噪音(例如,供电源引起)
· ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针,ESPsoft 包括所有
必需的标准脉冲选通电路
· 300、600、915mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀, 90°探针,组合式
线性-旋转驱动器可选
· 自清洗循环,防止探针尖端污染
· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制

注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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  • 产品分类
400-860-5168
分机号:0702
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北京英格海德官方展位由仪器信息网设计制作,工商信息已核实。
展位地址:https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100702/