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TV2双体积样品池

发布时间:2018/12/11 20:56 下载:1 次 免费下载
Typhoon净化清洗机制;样品台返回精度<1.5μm;与NWR193,NWR213,NWRfemto,NWRimage兼容;有效的Typhoon吹扫机制,能在5分钟后稳定运行,空间位置重现性<2%;非悬臂式样品台,以最小的磨损实现最准确的目标定位;无泄漏操作,无需复杂的转角密封和易于更换的管道。
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