LabMS 3000s ICP-MS 分析超纯水中杂质元素含量

2023-01-06 15:07

浏览：66次

资料摘要：

超纯水（UPW）在半导体行业应用广泛，在半导体制造过程中，需大量使用超纯水。超纯水除用作生产加工步骤的之间的清洗溶液以外，还是许多制程化学品的稀释液。严格控制超纯水的杂质元素含量，对实现所需的产品性能和产量至关重要。本工作采用电感耦合等离子体质谱仪 LabMS 3000s ICP-MS 来测试超纯水中杂质元素含量。

相关资料

科学仪器让生活更多彩——如何自制口红

科学仪器让生活更多彩——利用光波加热仪和微控数显电热板自制口红

环境空气中苯并 [α] 芘的测定

本方案参考《HJ 956-2018 环境空气苯并 [α] 芘的测定高效液相色谱法》，使用 Flex-HPSE 全自动高效快速溶剂萃取系统提取、SPE1000 全自动固相萃取系统净化、M64 高通量平行浓缩仪浓缩、二元高压梯度液相色谱系统检测，建立了一种环境空气中苯并 [α] 芘含量检测的分析方法。

固定污染源废气中挥发性有机物的测定

本方法参考《HJ 734-2014 固定污染源废气挥发性有机物的测定固相吸附 - 热脱附 / 气相色谱 - 质谱法》的测试方法，使用 CDS7550S 全自动热解析仪建立了固定污染源废气中挥发性有机物的检测方法。方法得到的挥发性有机物校准曲线 r 均在 0.996 以上，回收率为 93.6%~108.4%，RSD 为 1.2%~9.8%。都满足了HJ734-2014 中相应的要求。

土壤中的 64 种 SVOCs 的测定

本方案参考《HJ 834-2017 土壤和沉积物半挥发性有机污染物的测定气相色谱 - 质谱法》，使用莱伯泰科高效快速溶剂萃取系统（HPSE）提取土壤中的 64 种 SVOCs，GPC1000 全自动凝胶净化系统净化，MultiVap-10 多通道平行浓缩仪浓缩后用气质联用仪进行检测，建立了一种土壤中 64 种半挥发性有机污染物的分析方法。

产品推荐