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日本电子发布智能技术新型肖特基场发射扫描电镜JSM-IT800

日本电子发布时间:2020/05/25 19:43 点击: 加载中..

仪器信息网讯 2020年5月25日,日本电子株式会社(JEOL Ltd.)总裁兼首席运营官Izumi Oi宣布发布一款新型肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800,并在2020年5月上市销售。

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新型肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800【产品链接】

产品开发背景

扫描电子显微镜(SEM)被广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等领域。随着SEM的应用范围不断扩大,不仅包括研究和开发,还包括生产现场的质量控制和产品检验,SEM用户需要快速高质量的数据采集,以及简单的成分信息确认和无缝的分析操作。

扫描电子显微镜(SEM)被广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学、生物学等领域,且其应用领域还在不断延。同时,应用的场景也涵盖了从基础研究开发,再到生产制造现场的质量控制和产品检测。与此相应,SEM用户对快速高质量的数据采集、简单的成分信息确认,以及无缝的分析操作等的需求也越来越高。

为了满足这些需求,带有智能技术(IT)平台的JSM-IT800集成独特的“镜头内肖特基Plus场发射电子枪”,用于高分辨率成像及快速元素映射,并配置新一代电子光学控制系统“Neo Engine”,以及最求易用性的GUI“ SEM中心”可以完全整合JEOL 的x射线能谱仪。此外,JSM-IT800可提供两种类型的物镜配置,以满足不同用户的需求。

JSM-IT800的两种版本为:用于通用FE-SEM的混合镜头版本(HL版本)和用于增强的高分辨率观察和各种分析的超级混合镜头版本(SHL版本)。此外,SHL版本的JSM-IT800配备了新的上部混合探测器(UHD),可获取更高的信噪比图像,以研究样品的精细结构。

此外,JSM-IT800还可以配备新的闪烁体背散射电子检测器(SBED)和多功能背散射电子检测器(VBED)。SBED使得即使在低加速电压下也能以高响应度采集图像并产生鲜明的材料对比度。而VBED可以获取3D、不均匀度和材质对比的图像。

主要特点

镜头内肖特基Plus场发射电子枪

电子枪和低像差聚光镜的增强集成提供了更高的亮度。在低加速电压下(5 kV时为100 nA)可获得足够的探针电流。独特的In-lens肖特基Plus系统可实现从高分辨率成像到快速元素映射,电子背散射衍射(EBSD)分析以及软X射线发射光谱(SXES)的各种应用,而无需更改透镜条件。

Neo Engine(新电子光学引擎)

Neo Engine是一种尖端的电子光学系统,累积了多年的JEOL核心技术。即使更改不同的观察或分析条件,用户也可以执行稳定的观察。自动功能的高度可操作性大大增强。

SEM中心/ EDS集成

GUI“ SEM中心”与SEM成像和EDS分析完全集成,可提供无缝、直观的操作。通过合并可选的软件附件(例如SMILENAVI)可以增强JSM-IT800的功能,以帮助新手用户并为他们提供学习路径,并且可以使用LIVE-AI过滤器(Live Image Visual Enhancer–AI)来获取更高质量的实时图像。

混合镜头(HL)版本和超级混合镜头(SHL)版本

基于静电场和电磁场透镜的组合,有两种类型的物镜可用。不同的配置可以满足用户的各种需求,实现高空间分辨率的成像和从磁性材料到绝缘子的各种样品的分析,同时保持JSM-IT800的相同功能。

上层混合探测器(UHD)

内置于SHL型物镜中的UHD大大提高了从标本产生的电子的检测效率。这导致获得具有更高信噪比的图像。

新的反向散射电子探测器

闪烁体背散射电子检测器(SBED,可选)具有高响应度,适合在低加速电压下获取与材料形成对比的图像。具有分段检测器元件设计的多功能背向散射电子检测器(VBED,可选)允许用户选择配置各个段,或使用预编程的检测器设置来获取图像,以提供三维,地形或成分信息。

主要参数


JSM-IT800 SHL    version

JSM-IT800 HL    version

Resolution (1 kV)

0.7 nm

1.3 nm

Resolution (15 kV)

0.5 nm

-

Resolution (20 kV)

-

0.7 nm

Accelerating voltage

0.01 to 30 kV

Standard detector

Secondary   Electron Detector (SED)

Upper Hybrid   Detector (UHD)

Upper Electron   Detector (UED)

Electron gun

In-lens   Schottky Plus field emission electron gun

Probe current

A few pA to 500   nA (30 kV)

A few pA to 300   nA (30 kV)

A few pA to 100   nA (5 kV)

Objective lens

Super Hybrid   Lens (SHL)

Hybrid Lens   (HL)

Specimen stage

Full eucentric   goniometer stage

Specimen movement

X: 70 mm    Y: 50 mm  Z: 2 to 41 mm

Tilt: –5 to 70°    Rotation: 360°

EDS detector

Energy   resolution: 133 eV or better

Detectable   elements: B to U

Detection area:   60 mm2


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