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日本电子发布分辨率达53pm球差电镜JEM-ARM300F2

日本电子发布时间:2020/02/14 23:37 点击: 加载中..

仪器信息网讯 2020年02月14日,日本电子(JEOL Ltd.)总裁兼首席运营官Izumi Oi宣布发布全新原子分辨率分析电子显微镜JEM-ARM300F2(GRAND ARM™2),该电子显微镜将于2020年2月发布。

JEM-ARM300F2(GRAND ARM™2).jpg

■ 产品开发背景

在电子显微镜技术领域,电镜学者和工程师们始终在追求分辨率的提高。与此同时,JEOL也在努力提高透射电子显微镜(TEM)的稳定性,并将像差校正技术与这些努力相结合,已成功实现了超高的分辨率。

此前JEOL在2014年发布的JEM-ARM300F(GRAND ARM™)是一款原子分辨率的TEM,致力于实现一流的分辨率。但是,现代TEM的需求不仅包括对硬质材料的表征,还包括对软质材料的表征。在这种情况下,TEM用户希望进一步提高分辨率和分析精度。

此背景下,JEOL开发了一种全新TEM,即JEM-ARM300F2(GRAND ARM™2),可以满足用户的以上需求。这款超高原子分辨率分析TEM具有许多特点。特别是,借助新的物镜极靴“ FHP2”,GRAND ARM™2实现了超高原子分辨率成像与同类最佳大立体角EDS元素分析的最佳组合。

GRAND ARM™2的标准配置包括可减轻外部干扰的外壳,从而提高了仪器的稳定性。

 主要特点

1 超高空间分辨率与高灵敏度X射线分析的最佳组合。

新开发的FHP2物镜极靴的特点如下:

1)与之前的FHP相比,FHP2提供了更高的X射线检测效率(1.4sr),是FHP的两倍以上。

2)低光学系数,低Cc系数和低Cs系数使得超高空间分辨率和高灵敏度X射线分析能够在一定范围的加速电压下执行。

(保证的STEM分辨率:300kV时53pm,80kV时96pm)*

*在配置STEM扩展轨迹像差(ETA)校正器时

2 用于物镜的宽间隙极片(WGP)可以进行超高灵敏度的X射线分析。

该磁极片在上磁极和下磁极之间具有较大的间隙,具有以下优点:

1)WGP可使大面积的SDD(硅漂移检测器)靠近样品,从而实现超高灵敏度的X射线分析(总立体角为2.2 sr)。

2)WGP可以容纳更厚的样品架,从而可以进行各种类型的原位实验。

3 JEOL开发的球差(Cs)校正器已集成到显微镜柱中,并提供了超高的空间分辨率。

1)结合FHP2,GRAND ARM™2在300 kV时的STEM分辨率达到53 pm。

2)结合WGP,GRAND ARM™2在300 kV时的STEM分辨率达到59 pm。

3)JEOL COSMO™(校正系统模块)使快速,轻松执行像差校正成为可能。

4 标配冷场发射枪(Cold-FEG)。

GRAND ARM™2配备了Cold-FEG,可从电子源提供较小的能量散布。

5 减轻外部干扰的外壳

这种新外壳是减少外部干扰(例如气流,室内温度变化和噪音)的标准。

■ 主要规格

保证分辨率

HAADF-STEM图像:53pm(带ETA校正器和FHP2

电子枪:冷场发射枪(Cold-FEG

加速电压

标准:300kV80kV

能量色散X射线光谱仪

大面积SDD158mm 2):可以使用双探测器

立体角:1.4sr(带FHP2





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