考虑到众多预算有限用户对高性能AFM的需求,Park Systems精心设计并推出了XE-70这款经济型高性能AFM。XE-70果断放弃了部分成本较高的调节马达,坚决保留了所有XE系列产品的创新技术,并保证该款机型可与XE系列产品的各种扩展功能组件和选配件完全兼容。
技术参数(机械部分):
1. XY扫描器:50µm×50µm(闭环),可选配100µm×100 µm(闭环)
2. Z扫描器:12µm (可选配25µm)
3. 水平度:50µm线扫描垂直偏差不超过±1nm
4. XY和Z扫描器的正交性:1.0°
5. 样品台移动范围:25mm×25mm(X/Y),27.5mm (Z)
6. 样品尺寸:100mm×100mm
7. 光学观察:垂直光路设计,可直接观察微悬臂和样品
技术参数(电子部分)
1. 微处理器:600MHz,4800MIPS DSP
2. 模数/数模:16位,500kHz采样频率
3. 图像采集:同步自动采集16幅图像,分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式:采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准
标准工作模式:
真正非接触模式(True non-contact mode)
接触模式(contact mode)
相位模式(phase imaging)
横向力模式(LFM)
扩展工作模式:
力测量(Force measurements)
导电(Conductive AFM)
电力(Electric Force)
电子 (Electrical)
磁性 (Magnetical)
机械 (Mechanical)
热 (Thermal)
一、计量精确
XE系列AFM彻底消除了球面误差,因而具备了实现精确纳米计量的能力。
二、扫描器线形度高,直角正交
XE系列AFM采用了柔性扫描器最大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合,并且通过位移传感器及时进行反馈控制,这就有效保证了扫描的准确度和精度。
三、非接触式扫描
可真正实现非接触式扫描是Park AFM最显著的技术优势。采用这一模式扫描时,针尖和样品间距可以保持在几个纳米,在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。
四、CrN样品测试结果
CrN样品具有点状尖锐的特点,是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描,10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中,扫描100次后图像细节依然清晰,证明针尖没有受到损伤。
企业名称
天美仪拓实验室设备(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310000MA1J3R217H
成立日期
2019-09-05
注册资本
1000
经营范围
仪器仪表、机械设备及器具、电子设备、医疗器械Ⅰ类及上述商品的零配件的批发(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);租赁仪器仪表;批发、零售II类医疗器械;售后服务;货物进出口、技术进出口、代理进出口;批发、零售第III类医疗器械。(批发、零售第III类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
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