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解决方案

使用动态反应池型的ICPMS分析半导体级TMAH的应用报告

1
应用领域: 发布时间:
2013-08-06
检测样品:
--
检测项目:
--
浏览次数:
484
下载次数:
27 次
方案优势
据SEMI 标准 C46-0306,对于25%的TMAH,通常要求其每种污染元素的浓度低于10ppb,甚至有些客户要求更低。实验表明,DRC ICP-MS非常适合于UPW领域的超低含量(ng/L级)的样品的常规定量分析。通过计算机对标准模式及反应模式的切换,使得每次样品测量干扰降低至最少。
实验设备
参考报价:
面议
型号:
NexION
品牌:
珀金埃尔默
产地:
美国
关注度:
13906
完整度:
大小:296kb
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