产地类别: 国产
扫描通量: 2um
分辨率: 0.8 pm
检测系统类型: 光检测
发射波长: 365 nm
激发波长: 365 nm
扫描速度: 200mmx200mm
灵敏度: 0.1s—9999.9s
看了芯片检测系统的用户又看了
URE-2000系列紫外单面光刻机
.URE-2000/A8紫外光刻机
主要产品技术特征及指标:
•曝光面积:200mmx200mm ;
•分辨力:2um ;
•对准精度:2um ;
•掩模尺寸:5英寸、礫寸、9英寸;
•样片尺寸:碟寸、礫寸、8英寸;
• wafer chuc棲面:防止光反射涂层;
•掩模样片整体运动范围:X : 10mm;Y:10mm ;
•掩模相对于样片运动行程:X: 5mm; Y: 5mm; : 6。;
•汞灯功率:100QW (直流);
•曝光能最密度:2 15mW/cm2 ;
•光源能■控制:光源恒功率(每日测嵐光强,微调recipe(参考356nm波长);
•曝光峰值波长365 nm ;
•曝光方式:定时(倒计时方式0.1s—9999.9s);
•光刻版夹具兼容性
•具有盲曝粗对准功能.
产品型号 | 曝光面积 | 光刻分辨力 | 汞灯功率 | 照明不均匀性 |
URE-2000B
| lOOmmXIOOmm | 0.8 pm (胶厚2 pm的正胶) | 1000W13iE (德国欧司朗) 刼础 | 2.5% (<D100mm 范围 ) |
URE-2000/35
| lOOmmXIOOmm
| 翎力:1 pm (胶厚2 pm的正胶) | 350WM流 (徳国欧司朗) | 3% (饥00mm范围 |
URE-2000/35A
| 150mmX150mm
| 1-1.2 pm (胶厚2卩m的正胶) | 350W进口颤 高 陵国欧司朗) | 6% (0150mm 范围) |
URE-2000/30
| lOOmmxlOOmm (磔寸) | 潮力:£1 pm (瞄 1.5|jm 的 IEK) | 談麟电源
| (35OW1:^CD 3% (<P100mm 范围) |
URE-2000/25
| lOOmmXIOOmm
| 彻力:1.2 pm (胶厚2 pm的正胶) | 赦嶙 电源350W 直流,进口 | 3% (<P100mm 范围) |
URE-2000/17 (台式) | lOOmmXIOOmm
| 彻力:1.5 pm (胶厚2呻的正胶) | 200瀕口颤 (德国欧司朗) | 5% (0100mm 范围) |
URE?2000系列双面光刻机
URE-2000S/A8型奴面光刻机
主要产品技术特征及指标:
•采用专利技术一积木错位蝇眼透镜消衍射技术和线条陡直增强技术,曝光图形质量好,光刻分辩力高.
•采用国内首创的CCD囲像底面对准,单曝光头正面曝光实现双面对准功能.
•采用新颖的高精度,多自由度掩模一样片精密对准工件台结梅掩模与样片对准过程直观,套刻对准速度快,精度高样片的采
用推拉茹准平板,真空吸附式,操作方便。
•采用1000W长寿命型汞灯光源,曝光能量高,聚光角度小,光源稳定,持久。
•支持真空接触曝光,硬接触曝光,压力接触曝光,接近式曝光四种曝光功能。
•配备循环水冷却系统,照明面温度恒定。
•具有纳米压印接口功能.
•曝光面积:8英寸;对准精度:M±2 nm (双面,片厚0.8mm) /0.8皿(单面).
•掩模尺寸:礫寸、5英寸' 7英寸、9英寸.
•光刻分辨力:1pm.
•曝光方式:定时(倒计时方式0.1S-9999.9S任意设定)和定剂量.
•最大胶厚:500 pm (SU8胶,用户提供检测条件)?
•汞灯功率:1000W (直流,进口直流高压汞灯德国欧司朗).
•照明不均匀性:5% ( 0200mm范围).
产品型号 | 曝光面积 | 光刻分辨力 | 汞灯功率 | 照明不均匀性 |
URE-2000S/A
| 6詞 | 1pm | looovmnw^Hj^r (德国欧司朗) | 2% (OlOOmm 范围) 3% (<P150mm 范围 |
URE-2000S/B | 篠寸 | 1pm | looovmnMMj^r (德国欧司朗) | 2% ((plOOmm 范围) |
URE-2000S/25A
| l|jm
| 350W进口直流高压汞灯 (德国欧司朗)
| 3% ((PlOOmm 范围) 5% (0150 mm范围) | |
URE-2000S/25B
| 磔寸
| 1pm
| 350W进口直流高压汞灯 (德国欧司朗) | 3% ((PlOOmm 范围) |
URE-2000S/35L (A) | 6知
| 1pm
| 紫外LED进口灯源
| 1.5% ((PlOOmm 范围) 3% (0150 mm范围) |
URE-2000S/35L (B) | 僥寸 | 1pm | 紫外LED进口灯源 | 1.5% (0100mm 范围)
|
URE-2000S/25S
| 4钢6知
| 1pm
| 350瀕口直流高压汞灯 (德国瞄朗) | 3% (0100mm 范围) 5% ((P150 mm范围) |
投影光刻机
.TYG-2000S系列投影光刻机
主要产品技术特粧及指标:
•软件界面友好、科学、直观.可对当前曝光区域,待曝光区域,曝光参数等信息提供实时的图形化• •通过选
配背面对准模块,可实现双面对准曝光,将该机型升级为具有双面对准曝光功能步进投影光刻机。 •配置焦面检
测自动控制系统,焦面位置设定后,曝光过程中自动实时完成焦面调整。
•采用冷光膜与i线照明系统,曝光波长为365nm ,曝光面为冷光,曝光图形方、陡、直.
•支持真空接触曝光,硬接触曝光,压力接触曝光,接近式曝光四种曝光功能.
•采用夸利技术-积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明不均匀优于2%。
•采用先进的离轴对准系统,对准过程自动完成,对各种不同大小的基片,
(含碎片)对准十分适用.
•对准精度:±0.5卩m.
•照明均匀性:2%。
•曝光面积:3mmx3 mm ~ 50mmx50mm.
•调焦台运动灵敏度:1 jim.
•掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸.
•调焦台运动行程:5mm.
•光刻分辨力:。.3卩m ~ 5 ym.
•检焦:CCD检测,检测精度0.5 pm.
.光源:350施形汞灯,
•汞灯功率:1000W (直流,进口直流高圧汞灯德国欧司朗).
产品型号 | 曝光面积 | 光刻分辨力 | 汞灯功率 | 照明不均匀性 |
TYG-2000/A | 0.8pm - 1pm | 350W | 2% | |
TYG-2000/T1 | 0mm x 10mm | 1pm | 350W进口直流高压汞灯 (德国欧司郎) | +2% |
TYG-2000/T2 | 20mmx20mm | 2pm | 350W进口颤mMT (德国欧司朗) | ±2% |
TYG-2OOO/T3 | 50mm x 50mm | 5pm | 350味晰汞灯 (曝光谱线:i线) | ±2% |
DS-2000系列无掩模光刻机
产品型号 | 技术特征 | 技术参数 |
DS-2000/14G 型 | 采用DMD作为数字掩模,像素数 1024x768或1920x1080或 25601600三 种选配. 采用缩小投影光刻物镜成像,分辨力 lum0 采用专利技术一一积木错位蝇眼透镜实 现 均明。 采用进口精密光栅、进口电机、进口导 轨、 进口丝杠实现精确工件定位和曝光 拼接, 可适应lOOmmlOOmm基片。 采用CCD 检焦系统实现整场调平、自动 逐场调焦或 自动选场调焦曝光。 具备对准功能。 | 光源:350W球形汞灯(曝光谱线:i线)或紫 外 LED ;照明不均匀性:2% ;物镜倍率: 7.6倍(或 14倍与选择的DMD像素尺寸有 关);曝光场面 积:lmmx0.7mm (或 1.9mmxl.8mm ,或 2.5mmxl.6mm ,与选 择的DMD像素数有关); 光刻分辨力: 1 p m ; 工件台运动范围: X : 100mm、 Y : 100mm ;工件台运动定位精度:0. 5pm ;调 焦台运动灵敏度:lpm ;对准精度:2卩 m ;调 焦台运动行程:6mm ;检焦:CCD检测, 检 测精度2微米;转动台行程:±6。以上;直写 速 度:40mm2/min ;基片尺寸;外径: 1mm— 100mm ,厚度:0.1mm--5mm。 |
DS?2000/14K型 | 采用DMD作为数字掩模,像素数 1024x768. 采用14倍缩小投影光刻物镜成像。 采用专 利技术一一积木错位蝇眼透镜实 现均明。 具备对准功能。 采用进口精密光栅、进口电机、进口导 轨、 进口丝杠实现精确工件定位和曝光 拼接, 可适应lOOmmlOOmm基片。 采用CCD 检焦系统实现整场调平、自动 逐场调焦或 自动选场调焦曝光。 | 光源:350W球形汞灯(曝光谱线:i线)或紫 外 LED ;照明不均匀性:2% ;物镜倍率:14 倍;曝 光场面积:lmmx0.75mm ;光刻分辨 力:1 pm ; 工件台运动范围:X : 100mm、 Y :100mm;工件 台运动定位精度:0.65卩 m ;调焦台运动灵敏度: lum ; 对准精度:2pm ;调焦台运动行程:6mm ; 检焦: CCD检测,检测精度2微米;转动台行 程:±6°以 上;基片尺寸;外径: 1mm—100mm ,厚度: 0.1mm--5mm。 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 安装时提供免费的现场培训服务
免费仪器保养: 依据具体情况进行讨论
保内维修承诺: 工程师上门免费服务
报修承诺: 2小时相应,24小时内到达现场
芯片检测系统URE-2000系列的工作原理介绍
芯片检测系统URE-2000系列的使用方法?
URE-2000系列多少钱一台?
芯片检测系统URE-2000系列可以检测什么?
芯片检测系统URE-2000系列使用的注意事项?
URE-2000系列的说明书有吗?
芯片检测系统URE-2000系列的操作规程有吗?
芯片检测系统URE-2000系列报价含票含运吗?
URE-2000系列有现货吗?
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