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光刻机

  • 型号 URE-2000系列
  • 产地 四川
  • 样本 下载
  • 品牌

核心参数

  • 扫描速度200mmx200mm
  • 灵敏度0.1s—9999.9s
  • 激发波长365 nm
  • 发射波长365 nm
  • 检测系统类型光检测
  • 分辨率0.8 pm
  • 扫描通量2um
  • 产地类别 国产

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  • 营业执照已审核
  • 品牌性质生产商
  • 银牌会员第1年
  • 信用积分500
  • 反馈速度21-24小时
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产品介绍

URE-2000系列紫外单面光刻机


.URE-2000/A8紫外光刻机
主要产品技术特征及指标:
•曝光面积:200mmx200mm ;
•分辨力:2um ;
•对准精度:2um ;
•掩模尺寸:5英寸、礫寸、9英寸;
•样片尺寸:碟寸、礫寸、8英寸;
• wafer chuc棲面:防止光反射涂层;
•掩模样片整体运动范围:X : 10mm;Y:10mm ;
•掩模相对于样片运动行程:X: 5mm; Y: 5mm; : 6。;
•汞灯功率:100QW (直流);
•曝光能最密度:2 15mW/cm2 ;
•光源能■控制:光源恒功率(每日测嵐光强,微调recipe(参考356nm波长);
•曝光峰值波长365 nm ;
•曝光方式:定时(倒计时方式0.1s—9999.9s);
•光刻版夹具兼容性
•具有盲曝粗对准功能.

产品型号

曝光面积

光刻分辨力

汞灯功率

照明不均匀性

URE-2000B

 

lOOmmXIOOmm

0.8 pm (胶厚2 pm的正胶)

1000W13iE (德国欧司朗)

刼础

2.5%

(<D100mm 范围

URE-2000/35

 

lOOmmXIOOmm

 

翎力:1 pm (胶厚2 pm的正胶)

350WM流 (徳国欧司朗)

3%

(饥00mm范围

URE-2000/35A

 

150mmX150mm

 

1-1.2 pm (胶厚2卩m的正胶)

350W进口颤 高

陵国欧司朗)

6%

(0150mm 范围)

URE-2000/30

 

lOOmmxlOOmm

(磔寸)

潮力:£1 pm (瞄 1.5|jm 的 IEK)

談麟电源

 

(35OW1:^CD 3%

(<P100mm 范围)

URE-2000/25

 

lOOmmXIOOmm

 

彻力:1.2 pm (胶厚2 pm的正胶)

赦嶙 电源350W 直流,进口

3%

(<P100mm 范围)

URE-2000/17

(台式)

lOOmmXIOOmm

 

彻力:1.5 pm (胶厚2呻的正胶)

200瀕口颤

(德国欧司朗)

5%

(0100mm 范围)

 

URE?2000系列双面光刻机

URE-2000S/A8型奴面光刻机
主要产品技术特征及指标:
•采用专利技术一积木错位蝇眼透镜消衍射技术和线条陡直增强技术,曝光图形质量好,光刻分辩力高.
•采用国内首创的CCD囲像底面对准,单曝光头正面曝光实现双面对准功能.
•采用新颖的高精度,多自由度掩模一样片精密对准工件台结梅掩模与样片对准过程直观,套刻对准速度快,精度高样片的采
用推拉茹准平板,真空吸附式,操作方便。
•采用1000W长寿命型汞灯光源,曝光能量高,聚光角度小,光源稳定,持久。
•支持真空接触曝光,硬接触曝光,压力接触曝光,接近式曝光四种曝光功能。
•配备循环水冷却系统,照明面温度恒定。
•具有纳米压印接口功能.
•曝光面积:8英寸;对准精度:M±2 nm (双面,片厚0.8mm) /0.8皿(单面).
•掩模尺寸:礫寸、5英寸' 7英寸、9英寸.
•光刻分辨力:1pm.
•曝光方式:定时(倒计时方式0.1S-9999.9S任意设定)和定剂量.
•最大胶厚:500 pm (SU8胶,用户提供检测条件)?
•汞灯功率:1000W (直流,进口直流高压汞灯德国欧司朗).
•照明不均匀性:5% ( 0200mm范围).

 

产品型号

曝光面积

光刻分辨力

汞灯功率

照明不均匀性

URE-2000S/A

 

6詞

1pm

looovmnw^Hj^r   (德国欧司朗)

2% (OlOOmm 范围)

3% (<P150mm 范围

URE-2000S/B

篠寸

1pm

looovmnMMj^r (德国欧司朗)

2% ((plOOmm 范围)

URE-2000S/25A

 


l|jm

 

350W进口直流高压汞灯 (德国欧司朗)

 

3% ((PlOOmm 范围)

5% (0150 mm范围)

URE-2000S/25B

 

磔寸

 

1pm

 

350W进口直流高压汞灯 (德国欧司朗)

3% ((PlOOmm 范围)

URE-2000S/35L

(A)

6知

 

1pm

 

紫外LED进口灯源

 

1.5% ((PlOOmm 范围) 3%

(0150 mm范围)

URE-2000S/35L

(B)

僥寸

1pm

紫外LED进口灯源

1.5% (0100mm 范围)

 

URE-2000S/25S

 

4钢6知

 

1pm

 

350瀕口直流高压汞灯 (德国瞄朗)

3% (0100mm 范围)

5% ((P150 mm范围)

 

投影光刻机
.TYG-2000S系列投影光刻机
主要产品技术特粧及指标:
•软件界面友好、科学、直观.可对当前曝光区域,待曝光区域,曝光参数等信息提供实时的图形化• •通过选
配背面对准模块,可实现双面对准曝光,将该机型升级为具有双面对准曝光功能步进投影光刻机。 •配置焦面检
测自动控制系统,焦面位置设定后,曝光过程中自动实时完成焦面调整。
•采用冷光膜与i线照明系统,曝光波长为365nm ,曝光面为冷光,曝光图形方、陡、直.
•支持真空接触曝光,硬接触曝光,压力接触曝光,接近式曝光四种曝光功能.
•采用夸利技术-积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明不均匀优于2%。
•采用先进的离轴对准系统,对准过程自动完成,对各种不同大小的基片,
(含碎片)对准十分适用.
•对准精度:±0.5卩m.
•照明均匀性:2%。
•曝光面积:3mmx3 mm ~ 50mmx50mm.
•调焦台运动灵敏度:1 jim.
•掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸.
•调焦台运动行程:5mm.
•光刻分辨力:。.3卩m ~ 5 ym.
•检焦:CCD检测,检测精度0.5 pm.
.光源:350施形汞灯,
•汞灯功率:1000W (直流,进口直流高圧汞灯德国欧司朗).

 

产品型号

曝光面积

光刻分辨力

汞灯功率

照明不均匀性

TYG-2000/A  


0.8pm -   1pm

350W

2%

TYG-2000/T1  

0mm x  10mm

1pm

350W进口直流高压汞灯 (德国欧司郎)

+2%

TYG-2000/T2  

20mmx20mm  

2pm

350W进口颤mMT (德国欧司朗)

±2%

TYG-2OOO/T3  

50mm x  50mm

5pm

350味晰汞灯 (曝光谱线:i线)

±2%

DS-2000系列无掩模光刻机

 

产品型号

技术特征

技术参数

DS-2000/14G 型

采用DMD作为数字掩模,像素数

1024x768或1920x1080或 25601600三

种选配.

采用缩小投影光刻物镜成像,分辨力 lum0

采用专利技术一一积木错位蝇眼透镜实 现

均明。

采用进口精密光栅、进口电机、进口导 轨、

进口丝杠实现精确工件定位和曝光 拼接,

可适应lOOmmlOOmm基片。 采用CCD

检焦系统实现整场调平、自动 逐场调焦或

自动选场调焦曝光。

具备对准功能。

光源:350W球形汞灯(曝光谱线:i线)或紫 外

LED ;照明不均匀性:2% ;物镜倍率: 7.6倍(或

14倍与选择的DMD像素尺寸有 关);曝光场面

积:lmmx0.7mm (或 1.9mmxl.8mm ,或

2.5mmxl.6mm ,与选 择的DMD像素数有关);

光刻分辨力: 1 p m ; 工件台运动范围: X :

100mm、 Y   : 100mm ;工件台运动定位精度:0.

5pm ;调 焦台运动灵敏度:lpm ;对准精度:2卩

m ;调 焦台运动行程:6mm ;检焦:CCD检测,

检 测精度2微米;转动台行程:±6。以上;直写

速 度:40mm2/min ;基片尺寸;外径: 1mm—

100mm ,厚度:0.1mm--5mm。

DS?2000/14K型

采用DMD作为数字掩模,像素数

1024x768.

采用14倍缩小投影光刻物镜成像。 采用专

利技术一一积木错位蝇眼透镜实 现均明。

具备对准功能。

采用进口精密光栅、进口电机、进口导 轨、

进口丝杠实现精确工件定位和曝光 拼接,

可适应lOOmmlOOmm基片。 采用CCD

检焦系统实现整场调平、自动 逐场调焦或

自动选场调焦曝光。

光源:350W球形汞灯(曝光谱线:i线)或紫 外

LED ;照明不均匀性:2% ;物镜倍率:14 倍;曝

光场面积:lmmx0.75mm ;光刻分辨 力:1 pm ;

工件台运动范围:X : 100mm、 Y :100mm;工件

台运动定位精度:0.65卩 m ;调焦台运动灵敏度:

lum ;

对准精度:2pm ;调焦台运动行程:6mm ; 检焦:

CCD检测,检测精度2微米;转动台行 程:±6°以

上;基片尺寸;外径: 1mm—100mm ,厚度:

0.1mm--5mm。

 

 

光刻机信息由福芯科技(香港)有限公司为您提供,如您想了解更多关于光刻机报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:对于医疗器械类产品,请先查证核实企业经营资质和医疗器械产品注册证情况。

售后服务承诺

免费上门安装:是

保修期:1年

是否可延长保修期:是

保内维修承诺:工程师上门免费服务

报修承诺:2小时相应,24小时内到达现场

免费仪器保养:依据具体情况进行讨论

免费培训:安装时提供免费的现场培训服务

现场技术咨询:有

福芯科技(香港)有限公司

仪信通银牌会员1年

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