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皮米精度激光干涉仪-IDS3010

核心参数

  • 单频/双频 单频
  • 产地类别 进口激光干涉仪

QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司 查看联系方式

  • 营业执照已审核
  • 品牌性质经销商
  • 金牌会员第14年
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产品介绍




皮米精度激光干涉仪 IDS3010(NEW)


德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上,最新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似,IDS型号同样适用于极端环境如高真空与高辐射环境并且具有极高精度与极高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景,包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等。

2.png

PTB.jpg

德国国家计量院( PTB)对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证(上图右)。值得指出,在0-3米的工作距离内, IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国国家标准,使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。


IDS3010激光干涉仪应用领域

IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要,可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。


激光干涉仪IDS3010产品特点

 3.png

+ 设计紧凑(50mm x 55mm x 195mm),适合工业集成

+ 工业化界面,含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

+ 测量速度快,定位样品采样带宽10MHz

+ 环境补偿单元,不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度

+ 校正简单,配备可见激光(650nm)用于校正测量激光(1530nm)

+ 测量精度高,探测器分辨率高达1 pm


激光探头技术参数表

IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头(探头尺寸,光斑大小不同)。

探头直径范围:1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑:1.6mm, 典型聚焦激光光斑:70 mm。

最低工作温度:10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适



激光探头


型号

尺寸mm

(直径与长)

工作距离

(低反射,

高反射材料)

激光类型

(聚焦、准直)

光斑

大小

 

D1.2/F7

 

φ 1.2;

7.5

5-9 mm,

30-45 mm

聚焦,

焦距7mm

70mm@7mm

 

D4/F8

 

φ 4;

11.5

6-10 mm,

15-30 mm

聚焦,

焦距8mm

70mm@8mm

 

D4/F13

 

φ 4;

11.5

11-15 mm,

30-45 mm

聚焦,

焦距13mm

70mm@13mm

 

D12/F2.8

 

φ 12;

32.3

2.8 mm

聚焦,

焦距2.8mm

2mm@ 2.8mm

 

M12/C1.6

 

φ 14;

17.4

0-1000 mm

准直

1.6mm

 

M15.5/C1.6

 

φ 22;

20.6

0-1000 mm

准直

1.6mm

 激光探头7‘’.png

M12/C7.6

 

φ 14;

49.3

0-5000 mm

准直

7.6mm




 

IDS3010主机尺寸与接口

4.png

 


 实验数据,皮米精度的稳定性


测量速度快,定位样品采样带宽10MHz 


                   

 

上图,77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55 pm!

上图,样品移动速度2米/秒,移动范围1m。





 应用案例:

1. 激光干涉仪检测纳米精度位移台

2. 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜

3. 激光干涉仪无损探测轴承误差

4. 激光干涉仪校正极低温非线性扫描



国内外用户名单(排名不分先后)


attocube公司产品以其稳定的性能、极高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定,在全球范围内有超过了4000多位用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......  

北京大学

清华大学

中国科技大学

南京大学

中科院物理所

中科院半导体所

中科院武汉数学物理所

上海同步辐射中心

中科院上海应用技术物理研究所

北京理工大学

复旦大学

哈尔滨工业大学

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……


注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

售后服务承诺

免费上门安装:是

保修期:1年

是否可延长保修期:是

保内维修承诺:免费维修或更换零件;本地储备货值超过50万美元的备件,迅速响应故障诊断和维修。

报修承诺:QD中国承担中国区本地售后服务工作,专业、迅速解决用户在仪器使用过程中的问题。

免费仪器保养:QD中国工程师会依据使用情况定期回访用户、给予维护建议,保障设备良好运转。

免费培训:初次安装培训

现场技术咨询:有

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