EQ-99X Energetiq激光驱动白光光源LDLS

Energetiq激光驱动白光光源LDLS EQ-99X

Energetiq激光驱动白光光源LDLS EQ-99X是一款高亮度，高稳定、长寿命宽光谱光源，采用LDLS™激光驱动光源技术，使用高功率连续激光直接聚焦氙灯内的氙离子加热至非常高的的温度，从而发出高效的宽频谱光。具有高可靠性，高性能，高亮度，长寿命，紫外功率高等特点。其产品具有很宽的光谱范围，谱线包括深紫外线（DUV）, 并覆盖从可见光到近红外光区（NIR），波长范围从 170nm到2100nm 以上。

产品特点：

连续激光等离子体发光，100-200μm光斑

整个光谱具有高亮度（170-2100nm）

可取代氘灯，卤素灯，氙灯等多种灯

非常好的空间和功率稳定性

超净间装配提高稳定性和寿命

无电极长寿命运行，降低运行成本

应用：

紫外可见红外光谱，显微，单色仪光源

半导体厚度测量，形貌测量

光学元件测量

环境，气象监测，气相测量

材料表征，先进成像/照明

长寿命灯应用

工作原理图

产品参数：

 目前LDLS激光驱动白光光源已广泛应用于科研和工业生产，超过2000台光源出货，中国大部分高校和部分半导体检测厂家均在使用该光源且反馈良好！

产品技术优势：

1.       宽光谱，高亮度：LDLS激光驱动白光光源具有很宽的光谱表现，从深紫外-可见光-近红外全覆盖，在170-2100nm均有极高的亮度表现

由下图我们可以看出EQ-99光源亮度在紫外区域是75W氙灯的10倍，可见光区域也是数倍；对于30W的氘灯亮度更是100倍以上。

2.       长寿命：LDLS激光驱动光源在工作10000小时后仍具有90%输出功率，而氙灯下降到50%只需要2000小时，氘灯只需要1000小时，极大地节约换灯，中断实验/产品线调试等运行成本，另外LDLS还也可以在24*7条件下持续工作。

3.       光斑极小：下面三幅分别为氙灯，LDLS激光驱动白光光源的等离子发光体图。经过测试氙灯尺寸大于2mm*2mm，EQ-77约为150*300μm，EQ-99约为70*145μm。极小的等离子体光斑带来非常高亮度。易于聚焦于光谱仪/分光仪，光路搭建，在使用200μm以下狭缝时具有非常高的优越性，进入的能量比普通光源能高达10-100倍；另外耦合于光纤中具有非常好的效果，EQ-99XFC使用200μm光纤可以输出50mW的光，而普通氙灯卤素灯几乎很难耦合。

氙灯（左）和LDLS（右）等离子体实物图

4.       等离子体位置/功率非常稳定：下图为等离子体中心位置监测图，在200Hz频率下共2500个监测点，平均纵向不稳定度为0.094μm，横向不稳定度为0.145μm，具备了极高的光斑位置稳定性，从而保证了测量过程和结果的稳定性。1000个积分时间为8ms共8s强度测量，平均强度不稳定性为0.25%，峰峰值不稳定性为0.55%。

       等离子体中心位置                     强度不稳定性测量