快速、非接触式测量
产品特点：
在衬底镀上薄膜后, 因为两者材质不一样, 所以会引起应力. 如应力太大会引起薄膜脱落, *终引致组件失效或可靠性不佳的问题. 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的手段。
快速、非接触式测量
样品台可通用于3至8寸晶圆
128L型号适用于12寸晶圆
128G 型号适用于470 X 370mm样品，
另可按要求订做
*双激光自动转换技术
如某一波长激光在样本反射度不足，系统会自动使用
另一波长激光进行扫瞄，满足不同材料的应用
全自动平台，可以进行2D及3D扫瞄（可选)
可加入更多功能满足研发的需求
电介质厚度测量
光致发光激振光谱分析
（III-V族的缺陷研究）
500 及 900°C高温型号可选
样品上有图案亦适用
应用行业:
LED
平板显示
半导体
硅
玻璃
技术参数：
测量方式: 非接触式(激光扫瞄)
样本尺寸:
FSM 128 : 75 mm to 200 mm
FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm
FSM 128G: *大550×650 mm
扫瞄方式: 高精度单次扫瞄、2D/ 3D扫瞄(可选)
激光强度: 根据样本反射度自动调节
激光波长: 650nm及780nm自动切换(其它波长可选)
薄膜应力范围: 1 MPa — 1.4 GPa(硅片翘曲或弯曲度变化大于1 micron)
重复性: 1 (1 sigma)*
准确度: < 2.5*
*使用20米半径球面镜
设备尺寸及重量:
FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 270 lbs
FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 280 lbs
FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 400 lbs
电源 : 110V/220V, 20A
