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锇等离子镀膜机:
锇等离子镀膜机用于导电性的锇金属的提供薄、无定型薄膜。
锇镀膜的优势:
? *的热导性
? 无定型结果(无晶粒)
? 不会氧化
? 镀层1nm薄
? 镀膜过程不产生热
系统规格:
? 可选60mm或80mm腔
? 阀门都有*联锁装置
? 气动启动真空管
? Size: 19″ W × 16″ D × 16″ H(48 cm W × 42 cm D × 41 cm H)
? Weight: 80 lbs (136Kg)
系统包括:
? 镀膜主部件
? 启动耗材工具包
? 不锈钢真空管
? 安装所需工具及装配
场地要求:
? 真空泵,*低140 L/min
? 电源:100/110 V, 50/60 Hz, 10 A or 220/240 V, 50 Hz, 5 A
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