108AUTO 离子溅射仪

报价5万-10万 APP查看历史报价

核心参数

  • 溅射气体空气
  • 样品台尺寸可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm
  • 控制方式自动/手动
  • 样品仓尺寸直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
  • 靶材尺寸57*0.1mm
  • 靶材材质Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配)
  • 仪器种类 进口离子溅射仪

广州竞赢化工科技有限公司

  • 营业执照已审核
  • 品牌性质经销商
  • 银牌会员第10年
  • 信用积分2762
  • 反馈速度6-8小时
  • 同类仪器4台
400-860-5168转1729 仪器信息网认证,请放心拨打

产品介绍

  108Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性

  • 自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。

  • 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

  • 操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

  • 在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,

  • 通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

  • 可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。

  • 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

  • 可使用多种金属靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

 

技术参数
样品室大小 直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
靶材 Au 靶为标配,Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mmx 0.1mm厚
样品台 可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm
溅射控制 微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制
溅射头 低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
模拟计量 真空:Atm - 0.001mbar
厚度监控
(选件)
使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程,或使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)手动终止溅射过程
控制方法 自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气
桌上系统 真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统

 

解决方案

  • 医疗

典型用户

用户单位 采购时间 采购数量
  • 烟台万润集团 2013-01-07 1
  • 吉林大学 2012-10-18 1
  • 仲恺农学院 2012-06-13 1
  • 电子五所 2013-04-11 2
  • 复旦大学 2011-11-19 1
  • 东北石油大学 2013-01-14 1
  • 贵州大学 2011-09-23 1
  • 南昌大学 2011-11-10 1
  • 哈尔滨工业大学 2012-10-03 1
  • 河南师范大学 2013-02-12 1
  • 华南理工大学 2013-03-04 1
  • 中山大学 2012-12-06 1

广州竞赢化工科技有限公司

仪信通白金会员10年

常用搭配

  • 扫描电镜

推荐品牌

浏览该仪器的用户也在看

用户评论

综合评分

产品质量: 售后服务: 易用性: 性价比:

发表评论+4个积分, 删除评论-8积分采纳评论+20积分;查看积分规则

发评论赚积分

  • 产品质量
  • 售后服务
  • 易用性
  • 性价比

还可以输入500字 发布