Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 300
上海伯东德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 300 抽速可达到 260 l/s 高性能涡轮分子泵. 分子泵紧凑设计保证最佳性能. HiPace 300 对所有气体的高抽速和极高压缩比使其广泛应用于真空行业. 涡轮分子泵 HiPace 300 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据保证分子泵的最高安全性. 涡轮分子泵 HiPace 300 任意位置安装. 可选风冷或水冷. 多种配件可选.
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 300 技术规格
抽速 L/S | 全转速时气体流量 | 压缩比 | 转速 | |||||||||
N2 | H2 | He | Ar | N2 | H2 | He | Ar | N2 | H2 | He | Ar | ± 2 % |
260 | 220 | 255 | 255 | 14 | > 14 | 20 | 7 | >1X1011 | 9X105 | >1X108 | >1X1011 | 60000 min-1 |
进气口 | 分子泵控制器 | I/O 接口 | 极限真空 mbar |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程 | < 1X10-7 |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程 | < 5X10-10 |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程 | < 1X10-7 |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 远程 | < 1X10-7 |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 远程 | < 5X10-10 |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 远程 | < 1X10-7 |
DN 100 ISO-K | 另配 TCP 350 | RS-485, 远程 | < 1X10-7 |
DN 100 CF-F | 另配 TCP 350 | RS-485, 远程 | < 5X10-10 |
DN 100 ISO-F | 另配 TCP 350 | RS-485, 远程 | < 1X10-7 |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485,远程, Profibus? | < 1X10-7 |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485,远程, Profibus? | < 5X10-10 |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485,远程, Profibus? | < 1X10-7 |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485,远程, Profibus? | < 1X10-7 |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485,远程, Profibus? | < 5X10-10 |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485,远程, Profibus? | < 1X10-7 |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 远程 | < 1X10-7 |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 远程 | < 5X10-10 |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 远程 | < 1X10-7 |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程 | < 1X10-7 |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程 | < 5X10-10 |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程 | < 1X10-7 |
HiPace Plus 系列涡轮分子泵是为扫描电子显微镜 (扫描电镜 SEM) 和高端质谱行业量身定做的产品. HiPace 300 Plus 广泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS 等分析仪器设备里
HiPace C 系列涡轮分子泵适合腐蚀性气体环境。
此外上海伯东 Pfeiffer 还提供分子泵 HiPace P 系列, 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域.
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 300 入门套件:
此型号我们提供完整的套装供您选择, 包含一台 HiPace 300 分子泵主机和控制电源等, 选择分子泵套件满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套件内配置如下:
| DCU 310, 显示控制单元,含电源 |
| 分子泵电源与控制器连接线 |
| 风冷 |
涡轮分子泵应用 HiPace 300
镀膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD
工业: 灯管制造
研发: 纳米技术、生物技术
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection
上海伯东客户分子泵应用一: HiPace 300 某研究所自主搭建小型质谱系统
上海伯东客户分子泵应用二: HiPace 300 应用于MBE 与 STM 联用--分析生长晶体表面结构
涡轮分子泵 HiPace 300 尺寸图:
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上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>
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