高能准分子激光器

PulseMaster^R860/880系列高能准分子激光器

应用于工艺开发、科学研究和轻工业，具有高脉冲能量和优秀的光束质量的先进的准分子激光器

·                                 脉冲能量在248nm高达650mJ，在308nm可达600mJ

·                                 EasyClean自动光学密封，以保持填充气体，减少维护时停机时间

·                                 TMC^TM（全金属陶瓷）设计延长气体寿命

·                                 优秀的光束质量和稳定性

·                                 可选的高亮度镜头，适用于要求低光束发散或延长相干长度 

PulseMaster PM-860/880系列准分子激光器是专为高脉冲能量设计的。应用包括脉冲激光沉积（PLD），化学气相沉积 （CVD），如陶瓷、氮化物和图案的金属薄膜层等硬质材料的微加工。TMC^TM（全金属陶瓷）设计确保气体寿命延长和低运行成本。强大的微处理器控制允许对激光运行参数的精确控制，即使在突发模式下输出功率依然稳定，并简化日常保养程序。易清洗自动阀门安装在光学端口，当因为清洗和维护而移动谐振腔时，允许激光腔被密封和保留填充钝化气体。

规格

设备电源：    

型号 PM-868，PM-866，PM-888，PM-886：3相4线，208V30A或300V20A，50/60Hz

型号 PM-864，PM-862，PM-884，PM-882：单相，200-240V，50/60Hz，15A

冷却水： 

5℃-20℃，40-6-psig

8X8,8X6 型：10 liters/minute

8X4,8X2 型： 5 liters/minute

激光气体：

Kr或Xe惰性气体，F₂或HCL卤素气体，Ne和He保护气；或预混合气体，压缩空气或氮气