电动XY位移台和电动二维位移台由中国领先的进口光学精密仪器旗舰型服务商-孚光精仪进口销售,精通光学,服务科学,先后为北京大学,中科院上海光机所,中国工程物理研究院,航天3院,哈工大,南开,山东大学等单位提供优质进口电动XY位移台,电动二维位移台,XY二维位移台。
这款电动XY位移台是美国制造的高精度电动二维位移台，采用了XY双轴组合型设计，可以设计成实心顶部，也可设计成开放的框架结构，同时满足超净工作间和真空环境的使用要求。
主要特色
电动XY位移台超薄设计,3层结构；
电动二维位移台直线伺服或滚轴丝杆驱动系统
XY二维位移台集成的非接触式位置编码器
电动XY位移台分辨率高达1纳米
电动二维位移台内部预加载的辊导向系统
XY二维位移台可集成伺服控制功能
这
款电动XY位移台采用特殊的3层结构设计，保证了最小的形变和最高的精度，电动二维位移台的刚度和稳定性也得到了最大化，从而保证了XY二维位移台的最佳
支撑和完整性. 无空回（backlash-free)的预装引导系统保证了电动XY位移台实现平稳,低摩擦,高精度地定位,无故障长期使用。
应用
这款电动XY位移台,电动二维位移台具有广泛的应用，比如，可用于计量和制造领域，半导体封装,测试和制造领域，视频检测，微细加工，激光加工，告诉加工，激光和检测等领域。也有许多用户把这套电动XY二维位移台用于显微镜上，替代精度不足的传统显微镜载物台。
配置
行程范围100x100mm到300x300mm
位移台高度最低可达60mm
开放框架或固体顶部
适合超净间使用
真空兼容，适合真空环境使用
非磁性
主要参数：
行程范围：100x100mm, 150x150mm, 200x200mm, 300x300mm
驱动系统；步进电机,伺服电机，直线伺服电机，陶瓷伺服电机
最大加速度：由负载决定
最大速度：直线电机驱动：500mm/s,滚珠螺杆：250mm/s，滚柱丝杠驱动:40mm/s
最大负载：15kg
TTL分辨率：50nm
重复精度：≤1μm
构造：铝合金主体，灰色硬质涂层
| MS-100 ST | MS150-ST | MS200-ST | MS300-ST | MS-OFT |
Travel Length (mm) | 100x 100 | 150x 150 | 200x200 | 300x300 | 100x150 |
Trajectory Control |
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Accuracy |
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Standard Precision SP | ± 7.5µm | ± 10µm | ± 15µm | ± 20µm | ± 15µ/m |
High Precision HP | ± 5µm | ± 7.5µm | ± 10µm | ± 10µm | n/a |
Extra High Precision XHP | ± 3µm | ± 4µm | ± 6µm | ± 6µm | n/a |
Straightness/Flatness |
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Standard SP | ± 8 µm | ± 10 µm | ± 12 µm | ± 20 µm | ± 20 µm |
High Precision HP | ± 3µm | ± 4 µm | ± 6 µm | ± 10 µm | n/a |
Extra High Precision XHP | ± 3µm | ± 4 µm | ± 5 µm | ± 7 µm | n/a |
Yaw/Pitch/Roll |
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Standard SP | 20 arc-sec | 20 arc-sec | 20 arc-sec | 20 arc-sec | 30 arc-sec |
High Precision HP | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10u arc-sec | n/a |
2 axis system all |
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Orthogonality |
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Standard SP | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 20 arc-sec |
High Precision HP | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 10 arc-sec |
Extra High Precision XHP | 3 arc-sec | 3 arc-sec | 3 arc-sec | 3 arc-sec | na |
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