热式气体质量流量计/控制器

                  Axetris热式气体质量流量计/控制器：



    Axetris MFM/MFC 2000系列适用于OEM模块集成的结构极其紧凑的高性能气体质量流量计和控制器；

    从用来测量单一气体的结构极其紧凑的气体质量流量计和控制器，到用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组，Axetris最新的MFM / MFC 2000系列产品都能满足这些需求。



技术优点：

• 
  基于MEMS技术




• 
  极其紧凑的尺寸




• 
  高精度




• 
  快速响应时间




• 
  多种气体/多量程




• 
  模块化




• 
  极佳的长期稳定性

主要应用：

• 
  分析仪器




• 
  气相色谱仪




• 
  泄漏检测




• 
  单一或者多种气体的计量和控制




• 
  标定和质量控制




• 
  薄膜工艺控制