材料中表面形貌检测方案(扫描电镜)

From Eye to Insight MICROSYSTEMS MICROSYSTEMS 徕卡材料科学核心电镜制样技术 Leica NanotechnologyLeica Microsystems Science ILab MICROSYSTEMS 至真图片制样为先完美电镜制样，来自徕卡显微系统! 徕卡纳米技术部( Leica NanoT LNT) ——唯一一个专注于高端高效电镜制样的技术团队! 电镜制样流程图-常温或冷冻TEM/SEM (生物或材料样品，不含水或含水样品，固体或流体样品，无机或有机样品) FEI HITACH VTESCAN feicg Ding fica Workflow-TEM分析，利用超切切片技术(高分子材料或无机固体材料样品) MICROSYSTEMS 修块 将样品修成金字塔形， 便于超薄切片 (EM TRIM2， Rapid， TXP) 常温或冷冻超薄切片 (EM UC7/FC7) TEM图像分析 玻璃制刀机(EM KMR3) 透射电子显微镜 应用领域-超薄切片技术 Makenals www.MaterialsViews.com Ultrahigh Thermoelectric Performance in Mosaic Crystals Ying He， Ping Lu， Xun Shi，* Fangfang Xu，* Tiansong Zhang， Gerald jeffrey Snyder，Ctirad Uher， and Lidong Chen* √发现一种新型晶体结构的热电材料 √超薄切片技术制备出HRTEM样品 2015无机固体材料超薄切片技术交流会-9月29-30日 1100 0110 1010feica Since 1928 SICCAS 中国科学院上海硅酸盐研究所 Shanghai Institute of Ceramics， Chinese Academy of Sciences MICROSYSTEMS [0001] m (f) (g) (h) TEM and HRTEM analyses of the mosaic crystal Cu，SosTeos Workflow-SEM分析，利用离子束切割/研磨技术(固体材料样品) MICROSYSTEMS 徕卡独家-三离子束技术 精研一体机样品预处理 (EM TXP) 离子束切割/离子束抛光(用于大样品) (EM TIC3x) SEM图像分析 ZmZ 镀膜 (EM ACE200/600) 扫描电子显微镜 应用领域-三离子束切割技术 MICROSYSTEMS 市面上唯一一家三离子束切割仪! 单离子束 Leica EM TIC 3X三离子束切割仪 S-3400N 5.00kV 27.1mm x15 SE 3 . 0 0 m m WC-Co硬质合金， EBSD AION透明陶瓷， EBSD TiO2，SiO2多层膜包裹的蒙脱土颗粒 样品：触摸屏 SU8020 2.0kV 2.0mm x80.0k LA100(U) Ni-W合金的通道衬度像 Ni-w合金，无法有效观察到通道衬度像 样品：玻璃光纤 CNCRC-PT 15.0kV 8.1mm x90 BSE3D 50Pa 应用领域-三离子束抛光技术 S-3400N 5.00kV 6.1mmx200 BSE3D 200um S-3400N 5.00kV 6.1mm x3.00k BSE3D ''10.0um BeTe合金，粗砂纸抛光，300倍 EM TIC 3X三离子束抛光后，300倍 3k倍 HITACHI 5.00kV 7.3mmx800 BSE-COMP 50.0um HITACHI 10.0kV 5.9mmx1.00k BSE-COMP 50.0um Workflow -TEM分析，利用离子束减薄技术(固体材料样品) MICROSYSTEMS TEM图像分析 透射电子显微镜 应用领域-徕卡离子减薄技术 HRTEM image of SiTi0， after FIB cleaning SrTiO3 EM RES102多功能离子减薄仪对FIB样品进行氩离子清洁 TEM 离子束减薄 超高分辨率TEM图像((300kV，9带球差校正) Structures of C14 Laves phase and astacking fault of it. Wei Zhang， Rong Yu， Kui Du， Zhiying Cheng， Jing Zhu and Hengqiang Ye， Physical Review Letters，PRL 106， 165505(2011) 热烈祝贺-中科院金属研究所究式成为徕卡示范实验室! feica 2015年10月 可 feica 比阳材料料学国家(联合]实室 卡仪器有限公司 中茫卖验室 Jeica 沈阳材料科学国家(联合)实验室 珠卡仪器有限公司 示范实验室 E SE 心 SP RES离子减薄仪4台 TIC三离子束切割仪1台 超薄切片机UC6，修块机和精研一体机TXP 2台 徕卡全新设计的EM ACE系列镀膜仪 New LEICA EM ACE6M ECAEMNEUD EMACE200 ~~D Bica tica EM ACE镀膜仪用户 EMACE200 天津海洋水产研究所 苏州三星液晶显示科技有限公司 天津大学 华中师范大学 中石油勘探开发研究院 北京大学深圳研究生院 。广州特种承压设备研究院 贝克休斯(中国)油田·等 EMACE600 清华大学 中南大学 上海中医药大学 华东师范大学 航天一院 复旦大学 中山大学 中国科学院地质与地球物理研究 所等 MICROSYSTEMS Directional方向性 两种金属离子溅射模式 用于对平面样品镀细腻的金属薄膜 high pressure (5e-1 mbar) Diffuse 弥散性 用于对拓扑结构明显的样品进行均匀镀膜 MICROSYSTEMS Angled sources EM ACE600 MICROSYSTE M S Angled sources EM ACE200/600 feica 四碳丝Pulse脉冲式碳丝蒸发方式 Zoo 5Mm 0mm Q.5jo^2 2oo JSmm Page 19 EM ACE系列镀膜仪 简易清洁! EAMAEWU 只需用手 拆·拆-拆 装-装-装 徕卡EM ACE系列镀膜仪 MICROSYSTE M S 唯一一家样品室柜式设计镀膜仪! 唯一一家具有2种离子溅射镀膜方式! (EM ACE200) 唯一一家具有倾斜式镀膜靶源设计! (EM ACE600) 唯一一家具有脉冲式碳丝蒸发模式!--首次实现碳丝镀膜方式的膜厚监控 唯一一家所有部件只需用手就可拆卸安装!--使样品室清洁变得如此简便而有乐趣 锂电池隔膜样品 锂电池的结构中，隔膜是关键的内层组件之一。隔膜的主要作用是使电池的正、负极分隔开来，又能使电解质离子通过 高分子材料，热敏感型，极其不导电样品 隔膜材质极其不导电。电池隔膜一般是用PE(聚乙烯)，PP(聚丙烯)来制备，分为单层PE、PP膜，3层PP、PE膜。 在SEM拍照过程中极易荷电 湿法隔膜，不镀膜， SEM直接成像 不镀膜，快速抓拍成像，隔膜孔为圆形 不镀膜 镀膜 容易荷电 无荷电现象 电子束热损伤 无热损伤效应 图像性噪比差 性噪比好，景深大 对拍照者要求高拍照用时：>15min 对拍照者要求低拍照用时： 2-3min 通过无热损伤镀膜，观察到真实结构 From Eye to Insight谢谢! 至真图片 制样为先 完美电镜制样，来自徕卡显微系统！